[實用新型]單晶爐前端裝置

有效

• 申請號: 202121828411.1
• 申請日: 2021-08-06
• 公開（公告）號: CN215373582U
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 孫寧;周發州;周俊義
• 申請（專利權）人: 蘇州市興魯空分設備科技發展有限公司
• 主分類號: F27D17/00
• 分類號: F27D17/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛

本實用新型涉及一種單晶爐前端裝置，其包括多個用于回收單晶爐排放的部分氬尾氣的分區域獨立回收單元、多個用于對氬尾氣進行增壓的獨立增壓單元、多個用于對氬尾氣的氧含量進行檢測的氧含量檢測單元、多個用于放空氬尾氣的獨立放空單元；并行設置的各個分區域獨立回收單元的輸入側分別與單晶爐的輸出側相連接，獨立增壓單元的輸入側與分區域獨立回收單元的輸出側一一對應串聯，每個獨立增壓單元的輸出側分支為第一支路和第二支路，第一支路與各個獨立放空單元的輸入側一一對應連接，第二支路均與氬氣凈化系統相連接，氧含量檢測單元與獨立增壓單元的輸出側一一對應連接。本實用新型能夠針對單晶爐輸出的氬尾氣進行處理，避免影響氬氣回收提純。

技術領域

本實用新型涉及工業尾氣處理技術領域，具體涉及一種用于對單晶爐輸出的氬尾氣進行處理的單晶爐前端裝置。

背景技術

現有技術中，單晶爐排放的氬尾氣直接送入氬氣凈化系統中以回收提純氬氣。由于單晶爐所排放的氬尾氣組分時時變化，使得某些時段送入氬氣凈化系統中的氬尾氣無法達到所需要求，影響氬氣凈化系統的正常工作，無法實現氬氣回收提純。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種能夠針對單晶爐輸出的氬尾氣進行處理，以避免影響后續氬氣回收提純的單晶爐前端裝置。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種單晶爐前端裝置，設置于單晶爐系統與氬氣凈化系統之間，所述單晶爐前端裝置包括多個用于回收所述單晶爐系統排放的部分氬尾氣的分區域獨立回收單元、多個用于對所述分區域獨立回收單元輸出的氬尾氣進行增壓的獨立增壓單元、多個用于對所述獨立增壓單元輸出的氬尾氣的氧含量進行檢測的氧含量檢測單元、多個用于放空所述獨立增壓單元輸出的氬尾氣的獨立放空單元；

各個所述分區域獨立回收單元的輸入側分別與所述單晶爐系統的輸出側相連接且各個所述分區域獨立回收單元并行設置，所述獨立增壓單元的輸入側與所述分區域獨立回收單元的輸出側一一對應串聯，每個所述獨立增壓單元的輸出側均分支為第一支路和第二支路，所述第一支路與所述各個所述獨立放空單元的輸入側一一對應連接，所述第二支路均與所述氬氣凈化系統的輸入側相連接，所述氧含量檢測單元與所述獨立增壓單元的輸出側一一對應連接。

每個所述獨立增壓單元包括兩臺并行設置且一備一用的增壓風機。

所述單晶爐前端裝置還包括多個用于對所述獨立增壓單元輸出的氬尾氣的壓力進行檢測的壓力檢測單元，所述壓力檢測單元與所述獨立增壓單元的輸入側、輸出側一一對應連接。

所述單晶爐前端裝置還包括多個鉑熱電阻，所述鉑熱電阻與所述獨立增壓單元的輸入側、輸出側一一對應連接。

所述單晶爐前端裝置還包括冷卻單元，各個所述第二支路匯總后經所述冷卻單元與所述氬氣凈化系統的輸入側相連接。

所述冷卻單元包括兩臺并行設置且一備一用的冷卻器。

所述單晶爐前端裝置還包括根據各個所述氧含量檢測單元輸出的檢測結果控制對應所述獨立放空單元是否工作的控制單元，所述控制單元分別與各個所述氧含量檢測單元、各個所述獨立放空單元相連接。

所述單晶爐前端裝置還包括與所述控制單元相連接并能夠向工作人員發送告警信息的通信單元。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：本實用新型能夠針對部分單晶爐輸出的氬尾氣氧含量超標情況進行處理，使得氬氣回收提純系統依然可以連續穩定運行。

附圖說明

附圖1為本實用新型的單晶爐前端裝置的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖所示的實施例對本實用新型作進一步描述。