[實用新型]一種快速進樣腔

有效

• 申請號: 202121683139.2
• 申請日: 2021-07-23
• 公開（公告）號: CN215709823U
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 張冬;王淵
• 申請（專利權）人: 蘇州華楊科學儀器有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 姚姣陽

本實用新型揭示了一種快速進樣腔，包含一個進樣腔主體，進樣腔主體由一段主體段及多段連接段組合焊接而成，主體段沿垂直方向設置，多段連接段分別設置于主體段的外周側且連接段與主體段之間均保持垂直角度設置；進樣腔主體上分別連接有用于腔體抽真空的分子泵、用于實現樣品進樣的進樣法蘭、用于實現樣品轉移的磁力桿以及用于腔體破真空的泄壓閥。本實用新型在腔體結構設計上全部使用垂直方向的焊接連接且焊縫之間無重疊，大大簡化了腔體結構、降低了腔體的制造工藝難度和制造成本，為其后續的大規模推廣應用奠定了基礎。

技術領域

本實用新型涉及一種真空/超高真空科學實驗用，尤其涉及一種快速進樣腔，屬于真空科研設備領域。

背景技術

在各類真空/超高真空科學實驗中，依據實驗項目的不同，樣品經常需要進行更換或傳遞，而樣品的進樣、傳遞過程中，腔體不可避免地會暴露在大氣環境中、進而影響真空實驗環境。而如果為了避免這樣的問題，使進樣過程直接在主腔體中進行，則在實驗之前進行樣品烘烤、腔體抽真空等一系列操作。由于真空實驗儀器的主腔體大多比較復雜、體積龐大且對真空度的要求極高，前序的烘烤及抽真空等操作過程勢必會極大地延長實驗時間、影響實驗進程。

為了應對上述問題，縮短工作時間、提高工作效率，業內研究者開始嘗試制造一些使用更為便捷的進樣設備。

CN201821800579X揭示了一種適用于掃描隧道顯微鏡系統的新型快速進樣腔，其包括呈豎直設置的主腔體，主腔體的兩端分別設有主法蘭和副法蘭，主腔體的側面至少設有m個軸線呈水平設置的水平副腔體，水平副腔體的端部均設置有副法蘭，主腔體的側面還設有至少n個軸線呈傾斜設置的斜副腔體，m+n6，且m、n均為自然數，斜副腔體的端部均設置有副法蘭，所有水平副腔體的中心線和斜副腔體的中心線相交于主腔體內部的一點。盡管上述方案能夠增強快速進樣腔的實用性，但是在實際的應用過程中技術人員發現，上述方案中進樣腔的結構較為繁復且傾斜設置的部分較多，在腔體焊接的過程中很難做到完美處理、工藝難度較高。

綜上所述，如何在現有研究的基礎上提出一種全新的、設計合理的快速進樣腔，既能夠滿足樣品的進樣、轉移需求而又不需要較高的設備制造成本，進而克服現有技術中所存在的缺陷，也就成為了本領域內技術人員所亟待解決的問題。

發明內容

鑒于現有技術存在上述缺陷，本實用新型的目的是提出一種快速進樣腔，具體方案如下。

一種快速進樣腔，包含一個進樣腔主體，所述進樣腔主體由一段主體段及多段連接段組合焊接而成，所述主體段沿垂直方向設置，多段所述連接段分別設置于所述主體段的外周側且所述連接段與所述主體段之間均保持垂直角度設置；所述進樣腔主體上分別連接有用于腔體抽真空的分子泵、用于實現樣品進樣的進樣法蘭、用于實現樣品轉移的磁力桿以及用于腔體破真空的泄壓閥，所述分子泵、進樣法蘭、磁力桿以及泄壓閥均固定連接于相對應的一段所述連接段端部。

優選地，所述主體段上共連接有八段所述連接段，八段所述連接段四個為一組、分上下兩層連接于所述主體段的外周側，每段所述連接段與所述主體段、同一組內相鄰兩段所述連接段之間均保持垂直角度設置。

優選地，所述主體段整體為一根管道狀結構，所述主體段的上端端口位置固定連接有一個用于連接外部設備的第一預留法蘭口，所述第一預留法蘭口為CF63預留法蘭口，所述主體段的下端端口位置固定連接有所述分子泵。

優選地，位于上層的四段所述連接段分別連接有所述磁力桿、所述進樣法蘭、用于連接真空實驗設備主腔或預處理腔的連接法蘭口以及用于觀察所述磁力桿對樣品抓取過程的觀察窗，所述進樣法蘭為快開式進樣法蘭，所述連接法蘭口為CF35預留法蘭口。

優選地，位于下層的四段所述連接段分別連接有所述泄壓閥、用于實時監測所述進樣腔主體的腔體真空度的全量程規以及用于連接外部設備的第二預留法蘭口和第三預留法蘭口，所述第二預留法蘭口、第三預留法蘭口均為CF35預留法蘭口。