[實用新型]一種快速進樣腔

有效

• 申請號: 202121683139.2
• 申請日: 2021-07-23
• 公開（公告）號: CN215709823U
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 張冬;王淵
• 申請（專利權）人: 蘇州華楊科學儀器有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 姚姣陽

1.一種快速進樣腔，包含一個進樣腔主體，其特征在于：所述進樣腔主體由一段主體段及多段連接段組合焊接而成，所述主體段沿垂直方向設置，多段所述連接段分別設置于所述主體段的外周側且所述連接段與所述主體段之間均保持垂直角度設置；所述進樣腔主體上分別連接有用于腔體抽真空的分子泵（6）、用于實現樣品進樣的進樣法蘭（9）、用于實現樣品轉移的磁力桿（2）以及用于腔體破真空的泄壓閥（5），所述分子泵（6）、進樣法蘭（9）、磁力桿（2）以及泄壓閥（5）均固定連接于相對應的一段所述連接段端部。

2.根據權利要求1所述的一種快速進樣腔，其特征在于：所述主體段上共連接有八段所述連接段，八段所述連接段四個為一組、分上下兩層連接于所述主體段的外周側，每段所述連接段與所述主體段、同一組內相鄰兩段所述連接段之間均保持垂直角度設置。

3.根據權利要求2所述的一種快速進樣腔，其特征在于：所述主體段整體為一根管道狀結構，所述主體段的上端端口位置固定連接有一個用于連接外部設備的第一預留法蘭口（1），所述第一預留法蘭口（1）為CF63預留法蘭口，所述主體段的下端端口位置固定連接有所述分子泵（6）。

4.根據權利要求2所述的一種快速進樣腔，其特征在于：位于上層的四段所述連接段分別連接有所述磁力桿（2）、所述進樣法蘭（9）、用于連接真空實驗設備主腔或預處理腔的連接法蘭口（7）以及用于觀察所述磁力桿（2）對樣品抓取過程的觀察窗（10），所述進樣法蘭（9）為快開式進樣法蘭，所述連接法蘭口（7）為CF35預留法蘭口。

5.根據權利要求2所述的一種快速進樣腔，其特征在于：位于下層的四段所述連接段分別連接有所述泄壓閥（5）、用于實時監測所述進樣腔主體的腔體真空度的全量程規（3）以及用于連接外部設備的第二預留法蘭口（4）和第三預留法蘭口（8），所述第二預留法蘭口（4）、第三預留法蘭口（8）均為CF35預留法蘭口。

6.一種快速進樣腔，包含一個進樣腔主體，其特征在于：所述進樣腔主體由一段主體段及多段連接段組合焊接而成，所述主體段沿垂直方向設置，多段所述連接段分別設置于所述主體段的外周側且所述連接段與所述主體段之間均保持垂直角度設置；所述進樣腔主體上分別連接有用于腔體抽真空的分子泵（6）、用于實現樣品進樣的進樣法蘭（9）、用于實現樣品轉移的磁力桿（2）以及用于腔體破真空的泄壓閥（5），所述分子泵（6）、進樣法蘭（9）、磁力桿（2）以及泄壓閥（5）均固定連接于相對應的一段所述連接段端部；所述主體段上共連接有八段所述連接段，八段所述連接段四個為一組、分上下兩層連接于所述主體段的外周側，每段所述連接段與所述主體段、同一組內相鄰兩段所述連接段之間均保持垂直角度設置；所述主體段整體為一根管道狀結構，所述主體段的上端端口位置固定連接有一個用于連接外部設備的第一預留法蘭口（1），所述第一預留法蘭口（1）為CF63預留法蘭口，所述主體段的下端端口位置固定連接有所述分子泵（6）；位于上層的四段所述連接段分別連接有所述磁力桿（2）、所述進樣法蘭（9）、用于連接真空實驗設備主腔或預處理腔的連接法蘭口（7）以及用于觀察所述磁力桿（2）對樣品抓取過程的觀察窗（10），所述進樣法蘭（9）為快開式進樣法蘭，所述連接法蘭口（7）為CF35預留法蘭口；位于下層的四段所述連接段分別連接有所述泄壓閥（5）、用于實時監測所述進樣腔主體的腔體真空度的全量程規（3）以及用于連接外部設備的第二預留法蘭口（4）和第三預留法蘭口（8），所述第二預留法蘭口（4）、第三預留法蘭口（8）均為CF35預留法蘭口。