[實用新型]一種將芯片從托盤轉移至載具的雙站式系統有效
| 申請號: | 202121549359.6 | 申請日: | 2021-07-09 |
| 公開(公告)號: | CN216250671U | 公開(公告)日: | 2022-04-08 |
| 發明(設計)人: | 趙凱;梁猛;林海濤;邵嘉裕;程坤喜 | 申請(專利權)人: | 技感半導體設備(南通)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 南通英諾威訊專利代理事務所(普通合伙) 32508 | 代理人: | 范鑫鑫 |
| 地址: | 226000 江蘇省南通市南通市開發區蘇通科技產業*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 托盤 轉移 至載具 雙站式 系統 | ||
本實用新型公開了一種將芯片從托盤轉移至載具的雙站式系統,包括兩個載具下料工站、兩個載具上料工站、兩組托盤上料工位和兩組托盤下料工位,兩個載具下料工站和兩組托盤上、下料工位設置在系統的兩側,兩個載具上料工站設置在系統的中心,兩組托盤上料工位和兩組托盤下料工位相對設置。在原有排布基礎上,將T字形的兩個缺角空間進行空間利用,將缺角部分利用或者降低無用空間占比。實現效益空間內的雙工站排布方式,直接體現在作業效率的提升。
技術領域
本實用新型涉及一種雙站式系統,具體涉及一種將芯片從托盤轉移至載具的雙站式系統。
背景技術
芯片封裝廠中,有道工藝需求為將托盤中的芯片轉移到載具中。
為了實現高速高效的轉移速度,除了動作的整體加快,更有效率的方式是直接增加工站數量,但是工站數量的增加,就是直接增加廠內占地。所以需要在有效利用空間內,增加攻占數量,是提高效率的重要方式。
現有排布基礎為單工站的排布,即一條托盤傳輸線對應一條載具傳輸線。且T字型排布的方式,讓兩個角的空間利用效率感并非太高。
實用新型內容
為解決上述技術問題,本實用新型提供一種將芯片從托盤轉移至載具的雙站式系統。空間合理利用,作業效率的提升。
本實用新型提供如下技術方案:
一種將芯片從托盤轉移至載具的雙站式系統,包括兩個載具下料工站、兩個載具上料工站、兩組托盤上料工位和兩組托盤下料工位,兩個載具下料工站和兩組托盤上、下料工位設置在系統的兩側,兩個載具上料工站設置在系統的中心,兩組托盤上料工位和兩組托盤下料工位相對設置。
進一步的,兩個載具下料工站包括第一載具下料工站和第二載具下料工站。
進一步的,兩個載具上料工站包括第一載具上料工站和第二載具上料工站,第一載具上料工站和第二載具上料工站前后布置。
進一步的,兩組托盤上料工位包括第一托盤上料工位和第二托盤上料工位,第一托盤上料工位和第二托盤上料工位并列設置。
進一步的,兩組托盤下料工位包括第一托盤下料工位和第二托盤下料工位,第一托盤下料工位和第二托盤下料工位并列設置。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:
在原有排布基礎上,將T字形的兩個缺角空間進行空間利用,將缺角部分利用或者降低無用空間占比。實現效益空間內的雙工站排布方式,直接體現在作業效率的提升。
附圖說明
圖1為本實用新型結構示意圖。
圖2為本實用新型的主視圖。
圖中:1、第一載具下料工站;2、第二載具下料工站;3、第一載具上料工站;4、第二載具上料工站;5、第一托盤上料工位;6、第二托盤上料工位;7、第一托盤下料工位;8、第二托盤下料工位。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒
有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
請參閱圖1和2,一種將芯片從托盤轉移至載具的雙站式系統,包括兩個載具下料工站、兩個載具上料工站、兩組托盤上料工位和兩組托盤下料工位,兩個載具下料工站和兩組托盤上、下料工位設置在系統的兩側,兩個載具上料工站設置在系統的中心,兩組托盤上料工位和兩組托盤下料工位相對設置。
兩個載具下料工站包括第一載具下料工站1和第二載具下料工站2。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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