[實用新型]一種晶圓角度修正裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121489404.3
• 申請日: 2021-07-01
• 公開（公告）號: CN215896353U
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝啟全;曾逸;鄧應鋮
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市卓興半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 深圳智匯遠見知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44481
• 代理人: 王旭

本申請涉及一種晶圓角度修正裝置，涉及一種半導體領(lǐng)域，應用于固晶機，包括：吸附機構(gòu)、鏡頭組件、第一驅(qū)動機構(gòu)；其中，吸附機構(gòu)設(shè)置于第一驅(qū)動機構(gòu)的下端，用于吸附晶片和放置晶片，鏡頭組件設(shè)置于吸附機構(gòu)的運動軌跡下方，用于檢測吸附機構(gòu)吸附晶片的位置，第一驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動吸附機構(gòu)轉(zhuǎn)動。通過本申請，通過鏡頭組件實時檢測晶片轉(zhuǎn)移過程中吸附機構(gòu)吸附晶片的位置，當晶片的吸附位置與預設(shè)位置存在偏差時，通過第一驅(qū)動機構(gòu)調(diào)整吸附機構(gòu)的轉(zhuǎn)動，在晶片轉(zhuǎn)移過的程中完成位置的校正，從而提高了固晶的精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及一種半導體領(lǐng)域，具體而言，涉及一種晶圓角度修正裝置。

背景技術(shù)

隨著科學技術(shù)的進步，半導體行業(yè)、電子行業(yè)飛速發(fā)展，市場和規(guī)模也不斷擴大，而固晶是半導體行業(yè)、電子行業(yè)中封裝流程的重要工序，固晶的好壞直接影響了最終產(chǎn)品的性能，因此，固晶機作為封裝工藝中的關(guān)鍵設(shè)備之一，也受到了大家的重點關(guān)注。

相關(guān)技術(shù)中，固晶機包括操作頭和擺臂，操作頭固定安裝在擺臂上，工作過程中，通過操作頭對晶片進行吸附，然后通過擺臂的轉(zhuǎn)動將晶片從晶圓盤上轉(zhuǎn)移至基板上，從而實現(xiàn)晶片的轉(zhuǎn)移。但在轉(zhuǎn)移的過程中，晶片不一定位于操作頭的正中心，主要原因在于，一方面，晶片在吸附前，存在晶圓的位置不正的問題，另一方面，在吸取過程中，存在吸取的角度不正的問題，因此，晶片轉(zhuǎn)移到基板上時存在角度和位移的偏差，從而降低固晶的精度。

針對相關(guān)技術(shù)中存在的上述問題，目前尚未發(fā)現(xiàn)有效的解決方案。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題或者至少部分地解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┝艘环N晶圓角度修正裝置。

第一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N晶圓角度修正裝置，應用于固晶機，包括：吸附機構(gòu)、鏡頭組件、第一驅(qū)動機構(gòu)；其中，所述吸附機構(gòu)設(shè)置于所述第一驅(qū)動機構(gòu)的下端，用于吸附晶片和放置晶片，所述鏡頭組件設(shè)置于所述吸附機構(gòu)的運動軌跡下方，用于檢測所述晶片被所述吸附機構(gòu)吸附后的位置，所述第一驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述吸附機構(gòu)轉(zhuǎn)動。

進一步，所述第一驅(qū)動機構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸與所述吸附機構(gòu)連接，用于驅(qū)動所述吸附機構(gòu)繞第一軸線轉(zhuǎn)動，其中，所述第一軸線為所述吸附機構(gòu)的軸線。

進一步，所述鏡頭組件固定安裝于所述吸附機構(gòu)的運動軌跡下方的任一位置，用于在所述晶片轉(zhuǎn)移過程中檢測所述晶片被所述吸附機構(gòu)吸附后的位置。

進一步，所述裝置還包括：控制機構(gòu)，所述控制機構(gòu)與所述鏡頭組件、所述第一驅(qū)動機構(gòu)以及固晶平臺連接；其中，所述控制機構(gòu)用于根據(jù)所述鏡頭組件檢測到的被所述吸附機構(gòu)吸附后的所述晶片的當前位置與預設(shè)位置的偏差，生成并發(fā)送控制指令。

進一步，若所述當前位置與所述預設(shè)位置存在位移偏差，所述控制機構(gòu)基于所述位移偏差生成并發(fā)送第一控制指令給所述固晶平臺，所述固晶平臺控制基板進行對應的位置校正。

進一步，當所述當前位置與所述預設(shè)位置存在角度偏差，所述控制機構(gòu)基于所述角度偏差生成并發(fā)送第二控制指令給所述第一驅(qū)動機構(gòu)，所述第一驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述吸附機構(gòu)轉(zhuǎn)動，進行對應的角度校正。

進一步，所述裝置還包括連接機構(gòu)和第二驅(qū)動機構(gòu)，所述連接機構(gòu)一端與所述第一驅(qū)動機構(gòu)的下端連接，所述第二驅(qū)動機構(gòu)與所述連接機構(gòu)另一端相連，所述第二驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述連接機構(gòu)以帶動與所述第一驅(qū)動機構(gòu)連接的所述吸附機構(gòu)運動。

進一步，所述連接機構(gòu)上設(shè)有大小與所述吸附機構(gòu)的橫截面相當?shù)拇┩缚祝龃┩缚孜挥谒龅谝或?qū)動機構(gòu)轉(zhuǎn)動軸正下方，所述吸附機構(gòu)通過所述穿透孔與所述第一驅(qū)動機構(gòu)連接。