[實(shí)用新型]一種MPCVD設(shè)備天線裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202121433443.1
• 申請(qǐng)日: 2021-06-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214848996U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙俊芳;郭志剛;劉永寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 碳方程新材料（山西）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01Q1/00
• 分類(lèi)號(hào): H01Q1/00;H01Q1/12;H01Q1/42
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種MPCVD設(shè)備天線裝置，包括天線本體，所述天線本體頂部設(shè)置有蓋板，所述蓋板與天線本體之間形成密閉的容納空腔，所述天線本體頂部設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管外側(cè)設(shè)置有中壁管，所述中壁管外側(cè)設(shè)置有外壁管，所述進(jìn)氣管與中壁管之間形成進(jìn)水通道，所述中壁管和外壁管之間形成出水通道；密封空腔內(nèi)部的水可以通過(guò)中壁管與外壁管之間的出水通道向上流動(dòng)，從而經(jīng)過(guò)出水塊上的出水卡套接頭向外排出，可以充分對(duì)天線本體進(jìn)行冷卻和降溫，由于天線本體設(shè)置為倒錐形，在實(shí)際使用時(shí)，微波反饋低，微波傳導(dǎo)損耗小，獲得的等離子火焰能量密度大，對(duì)稱性好，并且溫度分布均勻，獲得的等離子火焰可控性好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及MPCVD技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種MPCVD設(shè)備天線裝置。

背景技術(shù)

MPVCD設(shè)備中使用的天線是核心部件，不同生產(chǎn)商有不同的設(shè)計(jì)，取決于微波電源和腔體的設(shè)計(jì)。不同的天線對(duì)等離子火焰產(chǎn)生不同的影響，目的都是為了獲得最低的微波反饋，降低微波損耗，并獲得可控的等離子火焰。

但是目前的MPVCD設(shè)備在使用時(shí)，微波電源產(chǎn)生的微波導(dǎo)入腔體內(nèi)，微波傳導(dǎo)過(guò)程損耗較大，獲得的等離子火焰形狀不理想，等離子火焰可控性差，并且冷卻效果較差，導(dǎo)致其使用壽命受限。

因此，有必要提供一種MPCVD設(shè)備天線裝置解決上述技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種MPCVD設(shè)備天線裝置，以解決上述背景技術(shù)中現(xiàn)有微波電源產(chǎn)生的微波導(dǎo)入腔體內(nèi)，微波傳導(dǎo)過(guò)程損耗較大，獲得的等離子火焰形狀不理想，等離子火焰可控性差，并且冷卻效果較差，導(dǎo)致其使用壽命受限的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種MPCVD設(shè)備天線裝置，包括天線本體，所述天線本體頂部設(shè)置有蓋板，所述蓋板與天線本體之間形成密閉的容納空腔，其特征在于：所述天線本體頂部設(shè)置有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管外側(cè)設(shè)置有中壁管，所述中壁管外側(cè)設(shè)置有外壁管，所述進(jìn)氣管與中壁管之間形成進(jìn)水通道，所述中壁管和外壁管之間形成出水通道。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述進(jìn)氣管與凸臺(tái)相固定，所述外壁管貫穿蓋板并與蓋板固定連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述天線本體設(shè)置為倒錐形。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述天線本體底部設(shè)置有進(jìn)氣盤(pán)，所述進(jìn)氣盤(pán)上設(shè)置有貫穿的排氣孔。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述進(jìn)氣管外側(cè)設(shè)置有進(jìn)水塊，所述進(jìn)水塊底部設(shè)置有出水塊，所述進(jìn)水塊與出水塊通過(guò)焊接相固定，所述中壁管與進(jìn)水塊相固定。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述進(jìn)水塊底部設(shè)置有第一沉孔，所述中壁管頂端設(shè)置于第一沉孔內(nèi)部并通過(guò)焊接與進(jìn)水塊相固定，所述出水塊的底部設(shè)置有第二沉孔，所述第二沉孔的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置有第二內(nèi)螺紋，所述外壁管的外側(cè)頂端設(shè)置有與第二內(nèi)螺紋相嚙合的第二外螺紋。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述進(jìn)水塊底部設(shè)置有第一沉孔，所述中壁管頂端設(shè)置于第一沉孔內(nèi)部并通過(guò)焊接與進(jìn)水塊相固定，所述出水塊的底部設(shè)置有第二沉孔，所述第二沉孔的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置有第二內(nèi)螺紋，所述外壁管的外側(cè)頂端設(shè)置有與第二內(nèi)螺紋相嚙合的第二外螺紋。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案，所述進(jìn)水塊和出水塊一側(cè)均設(shè)置有安裝孔，所述進(jìn)水塊一側(cè)設(shè)置有進(jìn)水卡套接頭，而在出水塊一側(cè)設(shè)置有出水卡套接頭，所述進(jìn)水卡套接頭和出水卡套接頭均安裝于安裝孔處。