[實用新型]一種MPCVD設備天線裝置

有效

• 申請號: 202121433443.1
• 申請日: 2021-06-26
• 公開（公告）號: CN214848996U
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 趙俊芳;郭志剛;劉永寧
• 申請（專利權）人: 碳方程新材料（山西）有限公司
• 主分類號: H01Q1/00
• 分類號: H01Q1/00;H01Q1/12;H01Q1/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MPCVD設備天線裝置，包括天線本體(1)，所述天線本體(1)頂部設置有蓋板(5)，所述蓋板(5)與天線本體(1)之間形成密閉的容納空腔(6)，其特征在于：所述天線本體(1)頂部設置有進氣管(8)，所述進氣管(8)外側設置有中壁管(12)，所述中壁管(12)外側設置有外壁管(9)，所述進氣管(8)與中壁管(12)之間形成進水通道(15)，所述中壁管(12)和外壁管(9)之間形成出水通道(16)；

所述天線本體(1)內部底端設置有凸臺(2)，所述進氣管(8)與凸臺(2)相固定，所述外壁管(9)貫穿蓋板(5)并與蓋板(5)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種MPCVD設備天線裝置，其特征在于：所述天線本體(1)設置為倒錐形。

3.根據權利要求1所述的一種MPCVD設備天線裝置，其特征在于：所述天線本體(1)底部設置有進氣盤(3)，所述進氣盤(3)上設置有貫穿的排氣孔(4)。

4.根據權利要求1所述的一種MPCVD設備天線裝置，其特征在于：所述進氣管(8)外側設置有進水塊(10)，所述進水塊(10)底部設置有出水塊(11)，所述進水塊(10)與出水塊(11)通過焊接相固定，所述中壁管(12)與進水塊(10)相固定。

5.根據權利要求4所述的一種MPCVD設備天線裝置，其特征在于：所述進水塊(10)底部設置有第一沉孔(13)，所述中壁管(12)頂端設置于第一沉孔(13)內部并通過焊接與進水塊(10)相固定，所述出水塊(11)的底部設置有第二沉孔(14)，所述第二沉孔(14)的內側壁上設置有第二內螺紋，所述外壁管(9)的外側頂端設置有與第二內螺紋相嚙合的第二外螺紋。

6.根據權利要求4所述的一種MPCVD設備天線裝置，其特征在于：所述進水塊(10)和出水塊(11)一側均設置有安裝孔，所述進水塊(10)一側設置有進水卡套接頭(17)，所述出水塊(11)一側設置有出水卡套接頭(18)，所述進水卡套接頭(17)和出水卡套接頭(18)均安裝于安裝孔處。