[實(shí)用新型]一種掩膜版清洗劑使用噴淋設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202121336368.7
• 申請(qǐng)日: 2021-06-16
• 公開（公告）號(hào): CN215576093U
• 公開（公告）日: 2022-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉小勇;房龍翔;葉鑫煌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/82
• 分類號(hào): G03F1/82;B08B3/02;B08B3/08
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 張愛紅

本實(shí)用新型公開了一種掩膜版清洗劑使用噴淋設(shè)備，涉及掩膜版清洗設(shè)備領(lǐng)域，針對(duì)現(xiàn)有的掩膜版采用浸泡清洗方式清潔效果不佳，影響掩膜版使用壽命，增加顯示器制備成本的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括清洗槽和安裝箱，所述清洗槽的頂端內(nèi)部固定安裝有兩個(gè)呈橫向設(shè)置的托架，且所述清洗槽內(nèi)部設(shè)有出水口，所述清洗槽的兩端均設(shè)有夾持裝置，所述夾持裝置包括夾板和安裝板，所述清洗槽的頂端上均設(shè)有噴淋裝置，所述噴淋裝置包括蓄水管和支撐架，所述清洗槽的兩側(cè)壁上設(shè)有聯(lián)動(dòng)裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎，且該裝置不僅可以對(duì)掩膜版進(jìn)行流動(dòng)式清洗，還可以實(shí)現(xiàn)清洗過程中對(duì)掩膜版夾持穩(wěn)定，降低掩膜板清洗受損的概率，延長(zhǎng)其使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及掩膜版清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版清洗劑使用噴淋設(shè)備。

背景技術(shù)

光掩膜基版是制作微細(xì)光掩膜圖形的理想感光性空白板，通過光刻制版工藝可以獲得所需光掩膜版，產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會(huì)被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光掩模版，然后應(yīng)用于對(duì)集成電路進(jìn)行投影定位。

掩膜版在多次曝光中出現(xiàn)光刻膠等臟污，必須清洗干凈，在清洗過程中通常采用將清洗件直接放在盛有清洗劑的容器中浸泡，由于清洗劑是靜止的，所以清洗后的污垢容易重新附著清洗件表面，清洗能力有限，影響掩膜版使用壽命，導(dǎo)致顯示器制備成本高，因此，為了解決此類問題，我們提出了一種掩膜版清洗劑使用噴淋設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提出的一種掩膜版清洗劑使用噴淋設(shè)備，解決了掩膜版采用浸泡清洗方式清潔效果不佳，影響掩膜版使用壽命，增加顯示器制備成本的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種掩膜版清洗劑使用噴淋設(shè)備，包括清洗槽和安裝箱，所述清洗槽的頂端內(nèi)部固定安裝有兩個(gè)呈橫向設(shè)置的托架，且所述清洗槽內(nèi)部設(shè)有出水口，所述清洗槽的兩端均設(shè)有夾持裝置，所述夾持裝置包括夾板和安裝板，所述清洗槽的頂端上均設(shè)有噴淋裝置，所述噴淋裝置包括蓄水管和支撐架，所述清洗槽的兩側(cè)壁上設(shè)有聯(lián)動(dòng)裝置，所述聯(lián)動(dòng)裝置包括電機(jī)、第一齒條、第二齒條和齒輪；

所述清洗槽的底端固定安裝安裝箱，所述安裝箱與清洗槽之間設(shè)有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括承重架、液壓伸縮桿、轉(zhuǎn)盤、第一從動(dòng)桿、第二從動(dòng)桿和基桿。

優(yōu)選的，所述清洗槽的兩側(cè)均固定安裝有兩個(gè)呈縱向設(shè)置的安裝板，且同側(cè)的兩個(gè)所述安裝板之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有呈V型設(shè)置的夾板。

優(yōu)選的，兩個(gè)所述夾板的底端均開設(shè)有槽口，兩個(gè)所述槽口均固定安裝有呈橫向設(shè)置的固定軸，兩個(gè)所述固定軸的圓周側(cè)壁上分別鉸接有第一從動(dòng)桿和第二從動(dòng)桿，所述安裝箱的一側(cè)固定安裝有兩個(gè)呈豎直狀的承重架，兩個(gè)所述承重架之間固定連接有橫桿，所述橫桿上轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)有液壓伸縮桿，所述安裝箱的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有呈豎直設(shè)置的轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤的一側(cè)固定安裝有三組結(jié)構(gòu)相同且呈水平方向設(shè)置的基桿。

優(yōu)選的，三組所述基桿均呈橫向設(shè)置，且所述第一從動(dòng)桿、第二從動(dòng)桿和液壓伸縮桿的一端分別與三組所述基桿依次鉸接。

優(yōu)選的，所述清洗槽的兩側(cè)壁上均開設(shè)有限位槽，所述限位槽的頂端以及底端內(nèi)壁上均滑動(dòng)安裝有呈橫向設(shè)置的第一齒條以及第二齒條，所述第一齒條與第二齒條呈錯(cuò)位分布，兩個(gè)所述限位槽的內(nèi)部均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有齒輪，且所述齒輪位于第一齒條以及第二齒條相互靠近的一側(cè)，且與第一齒條以及第二齒條上的齒塊相嚙合，所述清洗槽的一側(cè)固定安裝有電機(jī)，且其中一個(gè)所述齒輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸與電機(jī)的輸出軸固定連接設(shè)置。

優(yōu)選的，相對(duì)的兩個(gè)所述第一齒條以及兩個(gè)所述第二齒條之間均固定安裝有呈倒U型且豎直設(shè)置的支撐架，且兩個(gè)所述所述支撐架頂端圓周側(cè)壁上均固定套設(shè)有蓄水管，兩個(gè)所述蓄水管的圓周側(cè)壁上均開設(shè)有呈陣列分布的噴嘴，以及蓄水管的一端開設(shè)有接水口。

本實(shí)用新型的有益效果為：