[實用新型]一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202121336368.7 | 申請日: | 2021-06-16 |
| 公開(公告)號: | CN215576093U | 公開(公告)日: | 2022-01-18 |
| 發(fā)明(設計)人: | 劉小勇;房龍翔;葉鑫煌 | 申請(專利權)人: | 福建省佑達環(huán)保材料有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/82 | 分類號: | G03F1/82;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司: | 北京科億知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 張愛紅 |
| 地址: | 362100 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 掩膜版清 洗劑 使用 噴淋 設備 | ||
1.一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備,包括清洗槽(1)和安裝箱(2),其特征在于,所述清洗槽(1)的頂端內(nèi)部固定安裝有兩個呈橫向設置的托架(16),且所述清洗槽(1)內(nèi)部設有出水口,所述清洗槽(1)的兩端均設有夾持裝置,所述夾持裝置包括夾板(4)和安裝板(6),所述清洗槽(1)的頂端上均設有噴淋裝置,所述噴淋裝置包括蓄水管(17)和支撐架(18),所述清洗槽(1)的兩側壁上設有聯(lián)動裝置,所述聯(lián)動裝置包括電機(3)、第一齒條(13)、第二齒條(14)和齒輪(15);
所述清洗槽(1)的底端固定安裝安裝箱(2),所述安裝箱(2)與清洗槽(1)之間設有傳動機構,所述傳動機構包括承重架(7)、液壓伸縮桿(8)、轉(zhuǎn)盤(9)、第一從動桿(10)、第二從動桿(11)和基桿(12)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備,其特征在于,所述清洗槽(1)的兩側均固定安裝有兩個呈縱向設置的安裝板(6),且同側的兩個所述安裝板(6)之間轉(zhuǎn)動安裝有呈V型設置的夾板(4)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備,其特征在于,兩個所述夾板(4)的底端均開設有槽口,兩個所述槽口均固定安裝有呈橫向設置的固定軸(5),兩個所述固定軸(5)的圓周側壁上分別鉸接有第一從動桿(10)和第二從動桿(11),所述安裝箱(2)的一側固定安裝有兩個呈豎直狀的承重架(7),兩個所述承重架(7)之間固定連接有橫桿,所述橫桿上轉(zhuǎn)動套設有液壓伸縮桿(8),所述安裝箱(2)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動安裝有呈豎直設置的轉(zhuǎn)盤(9),所述轉(zhuǎn)盤(9)的一側固定安裝有三組結構相同且呈水平方向設置的基桿(12)。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備,其特征在于,三組所述基桿(12)均呈橫向設置,且所述第一從動桿(10)、第二從動桿(11)和液壓伸縮桿(8)的一端分別與三組所述基桿(12)依次鉸接。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備,其特征在于,所述清洗槽(1)的兩側壁上均開設有限位槽,所述限位槽的頂端以及底端內(nèi)壁上均滑動安裝有呈橫向設置的第一齒條(13)以及第二齒條(14),所述第一齒條(13)與第二齒條(14)呈錯位分布,兩個所述限位槽的內(nèi)部均轉(zhuǎn)動安裝有齒輪(15),且所述齒輪(15)位于第一齒條(13)以及第二齒條(14)相互靠近的一側,且與第一齒條(13)以及第二齒條(14)上的齒塊相嚙合,所述清洗槽(1)的一側固定安裝有電機(3),且其中一個所述齒輪(15)的轉(zhuǎn)動軸與電機(3)的輸出軸固定連接設置。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種掩膜版清洗劑使用噴淋設備,其特征在于,相對的兩個所述第一齒條(13)以及兩個所述第二齒條(14)之間均固定安裝有呈倒U型且豎直設置的支撐架(18),且兩個所述支撐架(18)頂端圓周側壁上均固定套設有蓄水管(17),兩個所述蓄水管(17)的圓周側壁上均開設有呈陣列分布的噴嘴,以及蓄水管(17)的一端開設有接水口。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜;其制備,例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準或測試的特殊涂層或標記;其制備





