[實用新型]一種具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備

有效

• 申請號: 202121204110.1
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN215050656U
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政軍;劉芳
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;B22D19/04
• 代理公司: 廣州永華專利代理有限公司 44478
• 代理人: 唐立輝

1.具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，旋轉靶材包括背管和多節環狀靶管，綁定裝置包括底座、注銦裝置和背管安裝位，其特征是，還包括震動敲擊裝置，震動敲擊裝置包括固定環、以繞固定環一圈的方式安裝在固定環上多條金屬片，以及用于安裝固定環的震動器，震動器震動則帶動固定環以及安裝在固定環上的全部金屬片一起震動。

2.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，這些金屬片都安裝在固定環外周。

3.根據權利要求2所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，金屬片上部固定到固定環處開有貫穿的安裝孔，震動器從內卡住固定環內壁，從外卡住這些金屬片的安裝孔，從而將金屬片與固定環裝在一起。

4.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，多條金屬片間隔均布在固定環外周。

5.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，所述金屬片是彈簧鋼片。

6.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，震動器包括震動電機或震動氣缸。

7.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，所述固定環的直徑在背管的外徑與靶管的內徑之間。

8.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，所述固定環的弧度與環狀靶管的圓弧形狀相適應。

9.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，包括用于安裝在背管上方的銦液容置腔。

10.根據權利要求1所述的具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉靶材綁定設備，其特征是，還包括罩在旋轉靶材外周的外加熱結構，外加熱結構包括多節環狀加熱罩和分別安裝在各節加熱罩內壁的加熱管，以及可拆卸地安裝在最上層環狀加熱罩頂部的密封蓋。