[實用新型]一種具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121204110.1
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN215050656U
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發(fā)明（設計）人: 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政軍;劉芳
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;B22D19/04
• 代理公司: 廣州永華專利代理有限公司 44478
• 代理人: 唐立輝

本實用新型涉及磁控濺射靶材制備技術(shù)領域，特別涉及一種具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備。旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備包括震動敲擊裝置，震動敲擊裝置包括固定環(huán)、以繞固定環(huán)一圈的方式安裝在固定環(huán)上多條金屬片，以及用于安裝固定環(huán)的震動器，震動器震動則帶動固定環(huán)以及安裝在固定環(huán)上的全部金屬片一起震動。該具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備自下而上地注入銦液，且在注入銦液前先將震動敲擊裝置的金屬片伸入背管與靶管之間的間隙，驅(qū)動金屬片震動以敲擊背管外表面和/或靶管內(nèi)表面，利用敲擊帶動背管和靶管震動，除去兩者上的氧化銦層或其他氧化物，提升銦與靶材/背管的貼合率。

技術(shù)領域

本實用新型涉及磁控濺射靶材制備技術(shù)領域，特別涉及一種具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備。

背景技術(shù)

近年來，采用濺射法制備的薄膜材料因其高致密度、優(yōu)良附著性等優(yōu)點，受到平面顯示器、電子控制器、玻璃鍍膜、光學薄膜等行業(yè)的青睞。隨著上述領域的高速發(fā)展，濺射靶材的需求量急劇增加。根據(jù)濺射面的形狀，靶材通常可分為平面靶材，旋轉(zhuǎn)靶材和異型靶材。平面靶材濺射使用可達到30％～40％，而旋轉(zhuǎn)靶材濺射使用率可達到80％，旋轉(zhuǎn)靶材呈空心圓管狀，能夠圍繞在固定的磁控濺射設備上旋轉(zhuǎn)，可360度均勻刻蝕靶面，這樣均勻的使用讓靶材表面光滑，減少“結(jié)瘤”現(xiàn)象的產(chǎn)生，提升鍍膜均勻性，提高靶材的利用率，從而降低鍍膜成本，因此旋轉(zhuǎn)靶材是未來發(fā)展的一大趨勢。

在旋轉(zhuǎn)靶材的制備工藝中，對于無法用噴涂澆筑方式生產(chǎn)的陶瓷靶材和某些金屬靶材，需用綁定貼合法(綁定)將需要濺射的靶材與背管綁定。目前綁定方法大多是將直徑較大的外管靶材套在直徑相對較小的背管上，用金屬銦或?qū)щ娔z等具有良好導電導熱性能的焊料填充兩者的間隙，將外管靶材和背管焊接。用金屬銦綁定的方法需要將銦加熱并維持在熔點以上的狀態(tài)時注入，金屬銦容易在空氣中氧化，使得銦與靶材/背管的貼合率低。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備，其能提升綁定環(huán)節(jié)中銦與靶材/背管的貼合率。

提供一種具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備，旋轉(zhuǎn)靶材包括背管和多節(jié)環(huán)狀靶管，綁定裝置包括底座、注銦裝置和背管安裝位，還包括震動敲擊裝置，震動敲擊裝置包括固定環(huán)、以繞固定環(huán)一圈的方式安裝在固定環(huán)上多條金屬片，以及用于安裝固定環(huán)的震動器，震動器震動則帶動固定環(huán)以及安裝在固定環(huán)上的全部金屬片一起震動。

優(yōu)選地，這些金屬片都安裝在固定環(huán)外周。

優(yōu)選地，金屬片上部固定到固定環(huán)處開有貫穿的安裝孔，震動器從內(nèi)卡住固定環(huán)內(nèi)壁，從外卡住這些金屬片的安裝孔，從而將金屬片與固定環(huán)裝在一起。

優(yōu)選地，多條金屬片間隔均布在固定環(huán)外周。

優(yōu)選地，所述金屬片是彈簧鋼片。

優(yōu)選地，震動器包括震動電機或震動氣缸。

優(yōu)選地，所述固定環(huán)的直徑在背管的外徑與靶管的內(nèi)徑之間。

優(yōu)選地，所述固定環(huán)的弧度與環(huán)狀靶管的圓弧形狀相適應。

優(yōu)選地，包括用于安裝在背管上方的銦液容置腔。

優(yōu)選地，還包括罩在旋轉(zhuǎn)靶材外周的外加熱結(jié)構(gòu)，外加熱結(jié)構(gòu)包括多節(jié)環(huán)狀加熱罩和分別安裝在各節(jié)加熱罩內(nèi)壁的加熱管，以及可拆卸地安裝在最上層環(huán)狀加熱罩頂部的密封蓋。

有益效果：該具有去氧化物震動敲擊裝置的旋轉(zhuǎn)靶材綁定設備自下而上地注入銦液，且在注入銦液前先將震動敲擊裝置的金屬片伸入背管與靶管之間的間隙，驅(qū)動金屬片震動以敲擊背管外表面和/或靶管內(nèi)表面，利用敲擊帶動背管和靶管震動，除去兩者上的氧化銦層(或其他氧化物)，提升銦與靶材/背管的貼合率。

附圖說明

圖1是本實用新型的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定設備的一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。