[實用新型]一種真空離子鍍膜夾具

有效

• 申請號: 202121181121.2
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN215440669U
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 卞寶安;王國梁;陳琳;羅軍;龐盼
• 申請（專利權）人: 江南大學;廣東省廣新離子束科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/32
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 張德才

實用新型公開一種真空離子鍍膜夾具，包括底座、軌道、夾具和中心轉盤，軌道設置在底座上，中心轉盤設置在底座中部，軌道上設置有夾具，軌道包括第一軌道、第二軌道和第三軌道，第一軌道和第二軌道均與中心轉盤連接，第三軌道與第一軌道和第二軌道之間的夾角均為120度，夾具包括扇形塊和弧形夾塊，扇形塊的圓心夾角為120度，扇形塊的中部設置有兩個滾輪，滾輪設置在軌道上的滑道內，扇形塊上還設置有弧形滑槽，弧形滑槽內設置有立柱，弧形夾塊設置在立柱的頂部，本實用新型的真空離子鍍膜夾具通過調整軌道之間的角度和弧形夾塊在弧形滑槽的位置能夠夾持圓形和橢圓形基片，夾持效果穩定，能夠夾持的基片形狀多樣化。

技術領域

本實用新型涉及真空離子鍍膜設備領域，特別是涉及一種真空離子鍍膜夾具。

背景技術

隨著真空技術的日趨成熟，采用真空技術來提高機械設備性能或零件的使用壽命已成為當前工業生產的重要手段。企業或研發單位通過真空鍍膜實驗來檢驗某種技術的可靠性或是產品的適用性的需求日益增強，同時對用于真空實驗中基片夾具的功能性要求也不斷提高。

但是，市面上現存的用于真空鍍膜實驗的基片夾具，可夾持基片的形狀單一，多為矩形基片，難以夾持圓形或橢圓形的基片。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空離子鍍膜夾具，以解決上述現有技術存在的問題，使的真空離子鍍膜夾具能夠調節夾持不同尺寸的圓形和橢圓形基片。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

本實用新型提供一種真空離子鍍膜夾具，包括底座、軌道、夾具和中心轉盤，所述軌道設置在所述底座上，所述中心轉盤設置在底座中部，所述軌道上設置有所述夾具，所述軌道包括第一軌道、第二軌道和第三軌道，所述第一軌道和第二軌道均與所述中心轉盤連接，所述第三軌道與第一軌道和第二軌道之間的夾角均為120度；

所述夾具包括扇形塊和弧形夾塊，所述扇形塊的圓心夾角為120度，所述扇形塊的中部設置有兩個滾輪，所述滾輪設置在所述軌道上的滑道內，所述扇形塊上還設置有弧形滑槽，所述弧形滑槽內設置有立柱，所述弧形夾塊設置在所述立柱的頂部。

優選的，所述中心轉盤包括銷軸、內轉盤和外轉盤，所述內轉盤上下均設置有一個所述外轉盤，所述銷軸穿過所述內轉盤和外轉盤的軸孔設置在所述底座內，所述第一軌道與所述外轉盤連接，所述第二軌道與所述內轉盤連通；

優選的，所述第三軌道的對稱軸與所述中心轉盤的圓心重合；

優選的，所述扇形塊上至少設置有一個所述弧形夾塊，所述弧形夾塊的圓弧面設置在沿所述中心轉盤的位置；

優選的，所述弧形夾塊的圓心與所述中心轉盤的圓心重合；

優選的，所述弧形滑槽的圓心角和所述扇形塊的圓心角相同，所述弧形滑槽設置在所述扇形塊偏內圓弧一側；

優選的，當設置在第一軌道、第二軌道和第三軌道上的所述扇形塊距離所述中心轉盤距離相同時，所述弧形夾塊能夠夾持固定圓形基片；

優選的，當設置在第三軌道上的所述扇形塊與所述中心轉盤距離大于所述第一軌道和第二軌道上的所述扇形塊與所述中心轉盤的距離時，所述弧形夾塊能夠夾持固定橢圓基片；

優選的，所述銷軸沿周向均勻開有多個限位孔，所述限位孔沿所述銷軸的軸向開設有三排，相鄰所述限位孔的軸夾角為30～45度，所述內轉盤和外轉盤的外側均沿徑向開有一個銷孔，所述銷孔貫穿所述內轉盤和外轉盤的側壁，銷釘穿過所述銷孔進入所述限位孔內用于固定所述內轉盤和外轉盤；

優選的，所述限位孔為盲孔，所述限位孔的深度為所述銷軸截面半徑的二分之一。

本實用新型相對于現有技術取得了以下技術效果：