[實用新型]一種真空離子鍍膜夾具

有效

• 申請號: 202121181121.2
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN215440669U
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 卞寶安;王國梁;陳琳;羅軍;龐盼
• 申請（專利權）人: 江南大學;廣東省廣新離子束科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/32
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 張德才

1.一種真空離子鍍膜夾具，其特征在于：包括底座、軌道、夾具和中心轉盤，所述軌道設置在所述底座上，所述中心轉盤設置在底座中部，所述軌道上設置有所述夾具，所述軌道包括第一軌道、第二軌道和第三軌道，所述第一軌道和第二軌道均與所述中心轉盤連接，所述第三軌道與第一軌道和第二軌道之間的夾角均為120度；

所述夾具包括扇形塊和弧形夾塊，所述扇形塊的圓心夾角為120度，所述扇形塊的中部設置有兩個滾輪，所述滾輪設置在所述軌道上的滑道內，所述扇形塊上還設置有弧形滑槽，所述弧形滑槽內設置有立柱，所述弧形夾塊設置在所述立柱的頂部。

2.根據權利要求1所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述中心轉盤包括銷軸、內轉盤和外轉盤，所述內轉盤上下均設置有一個所述外轉盤，所述銷軸穿過所述內轉盤和外轉盤的軸孔設置在所述底座內，所述第一軌道與所述外轉盤連接，所述第二軌道與所述內轉盤連通。

3.根據權利要求1所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述第三軌道的對稱軸與所述中心轉盤的圓心重合。

4.根據權利要求1所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述扇形塊上至少設置有一個所述弧形夾塊，所述弧形夾塊的圓弧面設置在沿所述中心轉盤的位置。

5.根據權利要求4所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述弧形夾塊的圓心與所述中心轉盤的圓心重合。

6.根據權利要求5所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述弧形滑槽的圓心角和所述扇形塊的圓心角相同，所述弧形滑槽設置在所述扇形塊偏內圓弧一側。

7.根據權利要求1所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：當設置在第一軌道、第二軌道和第三軌道上的所述扇形塊距離所述中心轉盤距離相同時，所述弧形夾塊能夠夾持固定圓形基片。

8.根據權利要求1所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：當設置在第三軌道上的所述扇形塊與所述中心轉盤距離大于所述第一軌道和第二軌道上的所述扇形塊與所述中心轉盤的距離時，所述弧形夾塊能夠夾持固定橢圓基片。

9.根據權利要求2所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述銷軸沿周向均勻開有多個限位孔，所述限位孔沿所述銷軸的軸向開設有三排，相鄰所述限位孔的軸夾角為30～45度，所述內轉盤和外轉盤的外側均沿徑向開有一個銷孔，所述銷孔貫穿所述內轉盤和外轉盤的側壁，銷釘穿過所述銷孔進入所述限位孔內用于固定所述內轉盤和外轉盤。

10.根據權利要求9所述的真空離子鍍膜夾具，其特征在于：所述限位孔為盲孔，所述限位孔的深度為所述銷軸截面半徑的二分之一。