[實(shí)用新型]半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202121142506.8
• 申請(qǐng)日: 2021-05-26
• 公開（公告）號(hào): CN215220677U
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林宜龍;劉飛;滕健;林清嵐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳格蘭達(dá)智能裝備股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 鄒俊;黃華蓮

1.半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

架體，具有物品升降通道、物品推料通道，以及物品送料通道；其中，所述物品升降通道、所述物品推料通道，以及所述物品送料通道依次連通；所述物品推料通道的一端與所述物品升降通道交匯形成第一交匯區(qū)，所述物品推料通道的另一端與所述物品升降通道交匯形成第二交匯區(qū)；

升降機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)預(yù)定物品沿物品升降通道移動(dòng)；

推料機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)預(yù)定物品沿物品推料通道移動(dòng)；

送料機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)預(yù)定物品沿物品送料通道移動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括：設(shè)置在所述架體上的第一底座、設(shè)置在所述第一底座上并沿豎直方向延伸的第一滑軌、滑設(shè)在所述第一滑軌上并用于支撐所述預(yù)定物品的升降臺(tái)，以及用于驅(qū)動(dòng)所述升降臺(tái)滑動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)器；所述第一滑軌與所述物品升降通道平行設(shè)置。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述升降臺(tái)包括：滑設(shè)在所述第一滑軌上的第一夾持部、第二夾持部，以及用于驅(qū)動(dòng)所述第二夾持部靠近或遠(yuǎn)離所述第一夾持部的第一氣缸；所述第一夾持部和所述第二夾持部之間形成供預(yù)定物品放入的第一空間。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一底座上設(shè)置有用于檢測(cè)所述預(yù)定物品放入所述第一空間內(nèi)的傳感器；所述傳感器與所述第一氣缸電性連接。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述推料機(jī)構(gòu)包括：設(shè)置在所述架體上的第二底座、滑設(shè)在所述第二底座上的推桿，以及用于驅(qū)動(dòng)所述推桿沿所述物品推料通道移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)器。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)器包括：設(shè)置在所述第二底座上的第二滑軌、第一環(huán)形傳動(dòng)帶、用于驅(qū)動(dòng)所述第一環(huán)形傳動(dòng)帶循環(huán)移動(dòng)的第一電機(jī)，以及滑設(shè)在所述第二滑軌上并連接在所述第一環(huán)形傳動(dòng)帶上的第一滑塊；所述第二滑軌與所述物品推料通道平行設(shè)置，所述推桿設(shè)置在所述第一滑塊上。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述送料機(jī)構(gòu)包括：設(shè)置在所述架體上的第三底座、設(shè)置在所述第三底座上并用于夾持所述預(yù)定物品的夾持器，以及用于驅(qū)動(dòng)所述夾持器沿所述物品送料通道移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)器。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持器包括：第三夾持部、第四夾持部，以及用于驅(qū)動(dòng)所述第四夾持部靠近或遠(yuǎn)離所述第三夾持部的第二氣缸；所述第三夾持部和所述第四夾持部之間形成供預(yù)定物品放入的第二空間。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第三驅(qū)動(dòng)器包括：設(shè)置在所述第三底座上的第三滑軌、第二環(huán)形傳動(dòng)帶、用于驅(qū)動(dòng)所述第二環(huán)形傳動(dòng)帶循環(huán)移動(dòng)的第二電機(jī)，以及滑設(shè)在所述第三滑軌上并連接在所述第二環(huán)形傳動(dòng)帶上的第二滑塊；所述第三滑軌與所述物品送料通道平行設(shè)置；所述第三夾持部和所述第四夾持部分別設(shè)置在所述第二滑塊上。

10.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第三夾持部為第一U型件，所述第四夾持部為第二U型件；第一U型件的一端伸入所述第二U型件的U型凹腔內(nèi)，第二U型件的一端伸入所述第一U型件的U型凹腔內(nèi)。