[實用新型]一種平面靶材研磨裝置

有效

• 申請號: 202121088999.1
• 申請日: 2021-05-20
• 公開（公告）號: CN215281451U
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 李帥方;張雪鳳;念雯雯
• 申請（專利權）人: 洛陽豐聯科綁定技術有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 洛陽公信聯創知識產權代理有限公司 41190
• 代理人: 孫笑飛

一種平面靶材研磨裝置，包括箱體、位于箱體內底部的定位組件和位于箱體內頂部的研磨組件；定位組件包括設置在箱體內底部的支撐座和兩個相對設置在支撐座上端用于壓緊平面靶材的轉角下壓氣缸，兩個轉角下壓氣缸背離的側面均水平設有伺服電缸A，伺服電缸A用于帶動轉角下壓氣缸左右移動；研磨組件包括從上到下依次設置在箱體內頂部的水平移動裝置、升降裝置和旋轉裝置，水平移動裝置用于帶動升降裝置左右移動，升降裝置用于帶動旋轉裝置上下移動，旋轉裝置豎直設置且輸出軸端部水平設有細磨盤。本實用新型結構簡單，無需手工研磨，研磨效率高，研磨后產品一致性好。

技術領域

本實用新型涉及平面靶材制造技術領域，特別涉及一種平面靶材研磨裝置。

背景技術

靶材作為鍍膜工藝的原材料，常通過濺射工藝制備薄膜材料，各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、太陽能光伏、記錄介質、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用，靶材有管靶材和平面靶材，常用的平面靶材為矩形結構如圖1所述，平面靶材1包括呈矩形的背板101和沿長度方向設置在背板101上端中心的靶材102，靶材102的長度小于背板101長度。

平面靶材在完成等離子噴涂后，其外表面需要進行研磨，由于平面靶材薄壁、細長、自重大，研磨時非常容易開裂，目前多數采用人工研磨，工人勞動強度大，研磨效率低，研磨不均勻，研磨后產品一致性不好。

實用新型內容

針對現有技術中存在的問題，本實用新型提供一種平面靶材研磨裝置，結構簡單，無需手工研磨，研磨效率高，研磨后產品一致性好。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案是：一種平面靶材研磨裝置，包括箱體、位于箱體內底部的定位組件和位于箱體內頂部的研磨組件；

所述定位組件包括設置在箱體內底部的支撐座和兩個相對設置在支撐座上端用于壓緊平面靶材的轉角下壓氣缸，兩個轉角下壓氣缸背離的側面均水平設有伺服電缸A，所述伺服電缸A用于帶動轉角下壓氣缸左右移動；

所述研磨組件包括從上到下依次設置在箱體內頂部的水平移動裝置、升降裝置和旋轉裝置，所述水平移動裝置用于帶動升降裝置左右移動，所述升降裝置用于帶動旋轉裝置上下移動，所述旋轉裝置豎直設置且輸出軸端部水平設有細磨盤。

進一步地，所述轉角下壓氣缸包括活塞桿，所述活塞桿上水平設有壓緊桿，且壓緊桿與活塞桿形成7形，所述壓緊桿底部豎直設有壓緊螺栓，且壓緊螺栓與壓緊桿呈倒L形，所述壓緊桿底部設有螺紋沉孔，壓緊螺栓旋入螺紋沉孔內且能夠沿豎直方向螺旋上下移動。

進一步地，所述伺服電缸A的推桿與轉角下壓氣缸可拆卸固定連接。

進一步地，所述水平移動裝置包括滑軌、伺服電機、滾珠絲杠和螺母座，所述滑軌水平設置在箱體內頂部，滑軌上滑動設有滑座，所述伺服電機設置在箱體內側壁上且位于滑軌下方，所述滾珠絲杠水平設置且一端與伺服電機的輸出軸連接，另一端與伺服電機相對的側壁轉動連接，所述螺母座設置在滾珠絲杠上，螺母座的上端與滑座可拆卸固定連接。

進一步地，所述升降裝置包括伺服電缸B，所述伺服電缸B設在螺母座底部且推桿豎直朝下設置，旋轉裝置設置在伺服電缸B的推桿下端。

進一步地，所述旋轉裝置為調速電機。

進一步地，所述細磨盤的直徑大于平面靶材的寬度。

進一步地，所述細磨盤為金剛石磨盤。

根據上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型通過兩個轉角下壓氣缸對平面靶材進行壓緊固定，在水平移動裝置、升降裝置和旋轉裝置的作用下細磨盤對平面靶材進行研磨，無需人工研磨，研磨效率快，研磨后產品一致性好，工人勞動強度小；并且在箱體內研磨，避免了外部污染物進入對平面靶材造成損壞。