[實用新型]一種平面靶材研磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202121088999.1
• 申請日: 2021-05-20
• 公開（公告）號: CN215281451U
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設計）人: 李帥方;張雪鳳;念雯雯
• 申請（專利權）人: 洛陽豐聯科綁定技術有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 洛陽公信聯創(chuàng)知識產權代理有限公司 41190
• 代理人: 孫笑飛

1.一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：包括箱體（2）、位于箱體（2）內底部的定位組件和位于箱體（2）內頂部的研磨組件；

所述定位組件包括設置在箱體（2）內底部的支撐座（11）和兩個相對設置在支撐座（11）上端用于壓緊平面靶材（1）的轉角下壓氣缸（10），兩個轉角下壓氣缸（10）背離的側面均水平設有伺服電缸A（12），所述伺服電缸A（12）用于帶動轉角下壓氣缸（10）左右移動；

所述研磨組件包括從上到下依次設置在箱體（2）內頂部的水平移動裝置、升降裝置和旋轉裝置，所述水平移動裝置用于帶動升降裝置左右移動，所述升降裝置用于帶動旋轉裝置上下移動，所述旋轉裝置豎直設置且輸出軸端部水平設有細磨盤（9）。

2.根據權利要求1所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述轉角下壓氣缸（10）包括活塞桿，所述活塞桿上水平設有壓緊桿，且壓緊桿與活塞桿形成7形，所述壓緊桿底部豎直設有壓緊螺栓（13），且壓緊螺栓（13）與壓緊桿呈倒L形，所述壓緊桿底部設有螺紋沉孔，壓緊螺栓（13）旋入螺紋沉孔內且能夠沿豎直方向螺旋上下移動。

3.根據權利要求1所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述伺服電缸A（12）的推桿與轉角下壓氣缸（10）可拆卸固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述水平移動裝置包括滑軌（4）、伺服電機（7）、滾珠絲杠（3）和螺母座（6），所述滑軌（4）水平設置在箱體（2）內頂部，滑軌（4）上滑動設有滑座（401），所述伺服電機（7）設置在箱體（2）內側壁上且位于滑軌（4）下方，所述滾珠絲杠（3）水平設置且一端與伺服電機（7）的輸出軸連接，另一端與伺服電機（7）相對的側壁轉動連接，所述螺母座（6）設置在滾珠絲杠（3）上，螺母座（6）的上端與滑座（401）可拆卸固定連接。

5.根據權利要求4所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述升降裝置包括伺服電缸B（5），所述伺服電缸B（5）設在螺母座（6）底部且推桿豎直朝下設置，旋轉裝置設置在伺服電缸B（5）的推桿下端。

6.根據權利要求5所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述旋轉裝置為調速電機（8）。

7.根據權利要求1所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述細磨盤（9）的直徑大于平面靶材（1）的寬度。

8.根據權利要求7所述的一種平面靶材研磨裝置，其特征在于：所述細磨盤（9）為金剛石磨盤。