[實用新型]一種坩堝夾持裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202120780540.1
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN214572358U
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭德華;蘇麗娜;劉圓圓;周敏;趙吉強
• 申請（專利權(quán)）人: 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00
• 代理公司: 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11716
• 代理人: 馮妙娜

1.一種坩堝夾持裝置，其特征在于，包括：

提升組件，所述提升組件包括升降臺和驅(qū)動機構(gòu)，所述驅(qū)動機構(gòu)通過連接軸與升降臺連接；

夾持組件，所述夾持組件包括環(huán)形軸和若干個夾持臂，每個所述夾持臂的固定端均與所述升降臺轉(zhuǎn)動連接，每個所述夾持臂上設(shè)置有環(huán)形軸穿過的軸孔若干個所述夾持臂的自由端相互配合，用于夾持坩堝；

所述升降臺運動帶動每個所述夾持臂的固定端與所述升降臺發(fā)生相對轉(zhuǎn)動，以帶動每個所述夾持臂的自由端靠近或遠離所述坩堝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，每個所述夾持臂均包括依次相連的第一連接段和第二連接段，所述第一連接段和第二連接段之間的角度為75°-105°；和/或

所述第一連接段和第二連接段通過連接環(huán)相連，所述連接環(huán)套設(shè)在所述環(huán)形軸上，并與所述環(huán)形軸轉(zhuǎn)動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，所述第一連接段的一端與所述升降臺轉(zhuǎn)動連接，另一端通過伸縮件與所述第二連接段相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，所述夾持組件還包括若干個限位軸套，每個所述限位軸套分別設(shè)置在相鄰的所述夾持臂之間，并套設(shè)在所述環(huán)形軸上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，所述環(huán)形軸的外側(cè)連接有支撐桿，所述支撐桿遠離所述環(huán)形軸的一端連接有連接塊，所述連接塊上滑動連接有承托板，所述承托板用于承托所述坩堝的底部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，所述支撐桿包括第三連接段和第四連接段，所述第三連接段套設(shè)在所述第四連接段內(nèi)部，并與所述第四連接段相互配合以調(diào)節(jié)所述支撐桿的長度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，所述連接軸為絲杠，所述升降臺的中心處開設(shè)有連接孔，所述連接孔設(shè)置有螺紋，所述絲杠與所述連接孔螺旋傳動配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，每個所述夾持臂的自由端均連接有夾持板，所述夾持板與所述夾持臂轉(zhuǎn)動連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，所述夾持板為與所述坩堝外壁適配的弧形結(jié)構(gòu)；和/或

所述夾持板與所述坩堝接觸的一側(cè)設(shè)置有若干橫狀條紋。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的坩堝夾持裝置，其特征在于，還包括機架，所述機架包括固定板和握持部，所述驅(qū)動機構(gòu)安裝在所述固定板上，所述握持部設(shè)置在遠離夾持組件的一側(cè)，并與所述固定板形成空腔結(jié)構(gòu)；和/或

所述握持部內(nèi)側(cè)設(shè)置有若干弧形凹部。