[實用新型]一種單晶爐

有效

• 申請號: 202120659216.4
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN215251325U
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發明（設計）人: 楊超;宋克冉;孫須良
• 申請（專利權）人: 曲靖晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

本實用新型提供一種單晶爐，包括爐筒、爐蓋、副室、鎖定機構。其中，爐蓋設置于爐筒上端以打開關閉爐筒；副室設置于單晶爐爐蓋上方；鎖定機構用于連接爐蓋與副室，鎖定機構包括掛接板本體、驅動件、鎖合部。其中，掛接板本體可旋轉地連接在副室下端；驅動件設置于副室外側且與掛接板本體相連，用于驅動掛接板本體在第一位置與第二位置之間轉動；鎖合部連接掛接板本體以通過掛接板本體連接爐蓋與副室，鎖合部處于打開狀態下對應的掛接板本體位于第一位置，鎖合部處于鎖合狀態下對應的掛接板本體位于第二位置。本實用新型的單晶爐，以驅動件代替人力來推動掛接板旋轉，從而減少了人工勞作強度與人工近距離操作的安全隱患。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅制備技術領域，具體涉及一種單晶爐。

背景技術

隨著太陽能級單晶的廣泛應用，單晶拉制行業也得以大力發展，單晶爐的改進與優化也是亟待解決的問題。而且隨著市場對大尺寸單晶的需求，大尺寸爐臺也慢慢占據生產線，成為主要的生產設備。其中部分適用于小型爐臺的器件在大爐型設備上變的不再適用，需要進行改進以達到安全高效生產的標準。

其中，單晶爐爐蓋與副室筒之間的互鎖裝置——掛接板，在小爐型的單晶爐上是在掛接板外部焊一個金屬把手，在需要拆爐提爐蓋的時候需要人工拉動金屬把手，將掛接板旋轉到鎖定位置以使爐蓋與副室互鎖，此時提升副室即可將爐蓋一同提起。

但是隨著爐型增大，爐臺變高，零件變大，人工操作的局限性也越來越大。爐臺的變高使得掛接板高度已經超出人站立的高度，人工旋轉掛板的便捷性和安全性已然受到威脅。且隨著零件的變大，人工受力的操作越加不便。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供一種單晶爐，可實現遠距離控制副室與爐蓋的鎖定與脫離，免除人工近距離操作，從而減少人工勞作強度與人工近距離操作的安全隱患。

為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

根據本實用新型實施例的單晶爐，包括：

爐筒；

爐蓋，設置于所述爐筒上端以打開關閉所述爐筒；

副室，設置于所述單晶爐爐蓋上方；

鎖定機構，用于連接所述爐蓋與所述副室，所述鎖定機構包括：

掛接板本體，可旋轉地連接在所述副室下端；

驅動件，所述驅動件設置于所述副室外側且與所述掛接板本體相連，用于驅動所述掛接板本體在第一位置與第二位置之間轉動；

鎖合部，所述鎖合部連接所述掛接板本體以通過所述掛接板本體連接所述爐蓋與所述副室，所述鎖合部處于打開狀態下對應的所述掛接板本體位于所述第一位置，所述鎖合部處于鎖合狀態下對應的所述掛接板本體位于所述第二位置。

進一步地，所述驅動件包括：

第一傳動部，所述第一傳動部設置在所述掛接板本體上，

第二傳動部，所述第二傳動部設置在所述單晶爐副室外側，所述第二傳動部配合所述第一傳動部以驅動所述掛接板本體轉動。

進一步地，所述第一傳動部形成為弧形齒條，所述弧形齒條沿著所述掛接板本體周向設置，

所述第二傳動部包括擺動氣缸和連接于所述擺動氣缸的齒輪，所述擺動氣缸一端固定于所述單晶爐副室外側，

其中，所述齒輪與所述弧形齒條相嚙合，所述擺動氣缸驅動所述齒輪轉動以通過所述弧形齒條帶動所述掛接板本體轉動。

進一步地，所述鎖合部包括：

定位孔，所述定位孔形成于所述掛接板本體上；

連接件，所述連接件固定于所述爐蓋上端且穿過所述定位孔，