[實用新型]一種單晶爐

有效

• 申請號: 202120659216.4
• 申請日: 2021-03-31
• 公開（公告）號: CN215251325U
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發明（設計）人: 楊超;宋克冉;孫須良
• 申請（專利權）人: 曲靖晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種單晶爐，其特征在于，包括：

爐筒；

爐蓋，設置于所述爐筒上端以打開關閉所述爐筒；

副室，設置于所述單晶爐爐蓋上方；

鎖定機構，用于連接所述爐蓋與所述副室，所述鎖定機構包括：

掛接板本體，可旋轉地連接在所述副室下端；

驅動件，所述驅動件設置于所述副室外側且與所述掛接板本體相連，用于驅動所述掛接板本體在第一位置與第二位置之間轉動；

鎖合部，所述鎖合部連接所述掛接板本體以通過所述掛接板本體連接所述爐蓋與所述副室，所述鎖合部處于打開狀態下對應的所述掛接板本體位于所述第一位置，所述鎖合部處于鎖合狀態下對應的所述掛接板本體位于所述第二位置。

2.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述驅動件包括：

第一傳動部，所述第一傳動部設置在所述掛接板本體上，

第二傳動部，所述第二傳動部設置在所述單晶爐副室外側，所述第二傳動部配合所述第一傳動部以驅動所述掛接板本體轉動。

3.根據權利要求2所述的單晶爐，其特征在于，

所述第一傳動部形成為弧形齒條，所述弧形齒條沿著所述掛接板本體周向設置，

所述第二傳動部包括擺動氣缸和連接于所述擺動氣缸的齒輪，所述擺動氣缸一端固定于所述單晶爐副室外側，

其中，所述齒輪與所述弧形齒條相嚙合，所述擺動氣缸驅動所述齒輪轉動以通過所述弧形齒條帶動所述掛接板本體轉動。

4.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述鎖合部包括：

定位孔，所述定位孔形成于所述掛接板本體上；

連接件，所述連接件固定于所述爐蓋上端且穿過所述定位孔，

其中，所述掛接板本體位于所述第一位置時，所述連接件脫離所述定位孔以使所述鎖合部處于打開狀態，所述掛接板本體位于所述第二位置時，所述連接件配合在所述定位孔內以使所述鎖合部處于鎖合狀態。

5.根據權利要求4所述的單晶爐，其特征在于，所述掛接板本體形成為環形板，所述定位孔形成有多個，多個所述定位孔沿著周向上間隔開設置。

6.根據權利要求4所述的單晶爐，其特征在于，所述定位孔形成為長孔，且所述長孔的對應于所述第一位置的一端直徑大于另一端直徑，所述連接件的連接所述掛接板本體與所述副室一端形成為紡錘體。

7.根據權利要求6所述的單晶爐，其特征在于，所述定位孔的對應于所述第一位置的一端形成為圓孔且另一端形成為腰孔。

8.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述鎖定機構還包括：

限位機構，所述限位機構用于限定所述掛接板主體在所述第一位置與所述第二位置之間轉動。

9.根據權利要求8所述的單晶爐，其特征在于，所述限位機構包括：

限位擋塊，所述限位擋塊固定在所述爐蓋上；

限位開關，所述限位開關連接于所述掛接板本體上，所述限位開關與所述限位擋塊相配合以限制所述掛接板主體在所述第一位置與所述第二位置之間轉動。

10.根據權利要求9所述的單晶爐，其特征在于，所述限位開關包括：

第一限位開關與第二限位開關，

當所述第一限位開關處于打開且所述第二限位開關處于關閉時，通過所述第一限位開關與所述限位擋塊相配合限定所述掛接板主體處于所述第一位置，

當所述第二限位開關處于打開且所述第一限位開關處于關閉時，通過所述第二限位開關與所述限位擋塊相配合限定所述掛接板主體處于所述第二位置。