[實用新型]用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置

有效

• 申請號: 202120639579.1
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN214842696U
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 松本光裕
• 申請（專利權）人: 京浜樂夢金屬科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: F28D21/00
• 分類號: F28D21/00;F28F13/12;F28F27/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，包括冷卻背板(6)和冷卻箱(7)，其特征在于：所述冷卻背板(6)的上方設置有靶材(4)，所述靶材(4)與冷卻背板(6)活動連接，所述冷卻背板(6)設置在冷卻箱(7)的上方，所述冷卻背板(6)與冷卻箱(7)活動連接，所述冷卻箱(7)左側端面固定連接有內腔連通的進水管道(9)，所述進水管道(9)的管口處固定連接有進水法蘭盤(8)，所述冷卻箱(7)的右側端面固定連接有內腔連通的出水管道(14)，所述出水管道(14)的管口處固定連接有出水法蘭盤(13)，所述冷卻箱(7)包括多組安裝槽(3)，每組所述安裝槽(3)中包括有放置板(11)，每組所述放置板(11)上設置有永磁體(5)，所述放置板(11)與永磁體(5)活動連接，所述永磁體(5)與冷卻背板(6)接觸，所述冷卻箱(7)中設置有兩組監控芯片(10)，所述冷卻箱(7)中設置有多組擾流機構(12)。

2.根據權利要求1所述的用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，其特征在于：所述擾流機構(12)包括箱體(121)，所述箱體(121)與冷卻箱(7)的底端內壁固定連接，所述箱體(121)的內腔設置有電機(122)，所述電機(122)與箱體(121)底端內壁固定連接，所述電機(122)包括電機轉軸(1221)，所述箱體(121)上設置有活動桿(126)，所述活動桿(126)貫穿箱體(121)至箱體(121)的內腔，所述活動桿(126)與箱體(121)軸承連接，所述活動桿(126)、電機轉軸(1221)之間設置有活動連接的聯軸器(123)，所述活動桿(126)上設置有攪拌機構。

3.根據權利要求1所述的用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，其特征在于：所述冷卻背板(6)包括導熱層(61)、超坡莫合金層(62)，所述導熱層(61)、超坡莫合金層(62)間隔設置，所述超坡莫合金層(62)與永磁體(5)位置匹配，所述超坡莫合金層(62)的下方設置有限制槽(63)，所述永磁體(5)伸入至限制槽(63)中。

4.根據權利要求2所述的用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，其特征在于：所述攪拌機構包括多組連接套管(127)，所述連接套管(127)套接在活動桿(126)的外壁，所述連接套管(127)與活動桿(126)固定連接，每組所述連接套管(127)的兩側端面均固定連接有攪拌葉(128)。

5.根據權利要求2所述的用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，其特征在于：所述聯軸器(123)的上方設置有固定套管(125)，所述固定套管(125)套接在活動桿(126)的外壁，所述固定套管(125)與活動桿(126)軸承連接，所述固定套管(125)的兩側端均固定連接有固定桿(124)，所述固定桿(124)與箱體(121)內壁固定連接。

6.根據權利要求1所述的用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，其特征在于：所述冷卻箱(7)的頂端內壁均勻設置有多組翅片二(2)，所述翅片二(2)與冷卻箱(7)固定連接，所述冷卻箱(7)的內壁在與永磁體(5)位置匹配處均勻設置有多組翅片一(1)，所述翅片一(1)與冷卻箱(7)固定連接。

7.根據權利要求2所述的用于液晶半導體成膜的高效率冷卻背板裝置，其特征在于：所述監控芯片(10)包括溫度監控單元(101)、PLC控制單元(102)，所述PLC控制單元(102)與多組電機(122)電性連接。