[實用新型]一種承載晶圓料盒的轉運供料機構

有效

• 申請號: 202120607530.8
• 申請日: 2021-03-25
• 公開（公告）號: CN214827002U
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 韓志剛
• 申請（專利權）人: 無錫光諾自動化科技有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74
• 代理公司: 無錫派爾特知識產權代理事務所(普通合伙) 32340
• 代理人: 楊立秋

1.一種承載晶圓料盒的轉運供料機構，其特征在于，包括縱向調節機構(1)、橫向調節機構(2)和承載機構(3)；

所述縱向調節機構(1)上傳動連接有所述橫向調節機構(2)，所述橫向調節機構(2)上傳動連接有所述承載機構(3)；

所述承載機構(3)包括承載板(31)、側板(32)、安裝板(33)、固定板(34)和料盒(35)；左右兩側所述側板(32)的上下端對稱設有所述承載板(31)，每個所述承載板(31)的頂部可拆卸安裝有所述安裝板(33)，通過所述安裝板(33)和所述固定板(34)的配合，將所述料盒(35)可拆卸安裝在所述安裝板(33)上，且每個所述安裝板(33)上安裝的所述料盒(35)、呈左右對稱分布；

通過控制所述縱向調節機構(1)，使承載晶圓的所述料盒(35)進行向上或向下移動；通過控制所述橫向調節機構(2)，使承載晶圓的所述料盒(35)進行向左或向右移動。

2.根據權利要求1所述的一種承載晶圓料盒的轉運供料機構，其特征在于，所述縱向調節機構(1)包括安裝臺一(11)、安裝臺二(12)、連接柱(13)、縱向電機(14)、傳動組件、縱向絲杠(16)、縱向螺母(17)、升降板(18)和升降柱(19)；

所述安裝臺一(11)的頂部四角和所述安裝臺二(12)的底部四角通過所述連接柱(13)固定相連，所述安裝臺一(11)上安裝有所述縱向電機(14)，所述縱向電機(14)的輸出軸端通過所述傳動組件傳動連接有所述縱向絲杠(16)，所述縱向絲杠(16)的上下端分別轉動連接在所述安裝臺一(11)和所述安裝臺二(12)上，所述縱向絲杠(16)的螺紋處螺紋連接有所述縱向螺母(17)，所述升降板(18)上固定插接有所述縱向螺母(17)，所述升降板(18)的頂部四角對稱設有所述升降柱(19)，所述升降柱(19)的上端穿過所述安裝臺二(12)上開設的導向孔、并延伸至上端與所述縱向調節機構(1)相連。

3.根據權利要求2所述的一種承載晶圓料盒的轉運供料機構，其特征在于，所述傳動組件包括主動帶輪(151)、傳動帶和從動帶輪(152)，所述縱向電機(14)的輸出軸端套設有所述主動帶輪(151)，所述縱向絲杠(16)的下端套設有所述從動帶輪(152)，通過所述傳動帶可將所述主動帶輪(151)與所述從動帶輪(152)之間進行傳動繞接，從而通過所述傳動組件的傳動，使所述縱向電機(14)驅動所述縱向絲杠(16)轉動。

4.根據權利要求2所述的一種承載晶圓料盒的轉運供料機構，其特征在于，所述安裝臺一(11)和所述安裝臺二(12)之間連接有導軌一(121)，在所述導軌一(121)的安裝槽內可滑動調節安裝有行程開關一(122)，同時所述升降板(18)上對應設有配合的擋片一(123)，通過所述擋片一(123)擋在所述行程開關一(122)的兩片開關之間時，可使所述行程開關一(122)向控制終端的控制器發送信號以指示所述控制器控制所述縱向電機(14)停止工作。

5.根據權利要求2所述的一種承載晶圓料盒的轉運供料機構，其特征在于，所述橫向調節機構(2)包括安裝臺三(21)、U型板(22)、滑軌一(23)、滑軌二(24)、滑塊(25)、橫向電機(26)、橫向絲杠(27)、橫向螺母(28)和橫向移動板(29)；

所述安裝臺三(21)的頂部與倒置的所述U型板(22)相連，所述U型板(22)的左右兩側壁上轉動連接有所述橫向絲杠(27)，所述橫向絲杠(27)的右側端與所述橫向電機(26)的輸出軸端相連，同時所述橫向電機(26)安裝于所述U型板(22)的右側壁上，所述橫向絲杠(27)的螺紋處螺紋連接有所述橫向螺母(28)，所述橫向螺母(28)的前后側壁分別與所述滑軌一(23)滑動相連，所述滑軌一(23)對稱設置于所述U型板(22)的前后兩側，同時所述橫向螺母(28)的頂部設有所述橫向移動板(29)；

所述滑軌二(24)設置于所述安裝臺三(21)上，且所述滑軌二(24)上滑動連接有兩個所述滑塊(25)；

所述滑塊(25)、所述橫向移動板(29)對稱設置于下側所述承載板(31)的底部前后兩側。