[實用新型]一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置

有效

• 申請號: 202120568117.5
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN214672525U
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 孫拓夫;陳名佶;王彩英;奚君
• 申請（專利權）人: 蕪湖致通汽車電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 謝愷

1.一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，包括裝置外殼(1)，其特征在于：所述裝置外殼(1)的頂部設置有風機(2)，所述風機(2)的出風口連通有風管(3)，且風管(3)的一端延伸至裝置外殼(1)的內部，所述裝置外殼(1)的一側外表面固定有透風板(4)，所述裝置外殼(1)的內部前表壁與后表壁之間滑動有多個滾輪(5)，多個所述滾輪(5)的兩端均固定有轉桿(16)，多個所述轉桿(16)共分為兩組，一組多個所述轉桿(16)的一端均與裝置外殼(1)的內部前表壁滑動嵌設，另一組多個所述轉桿(16)的一端均與裝置外殼(1)的內部后表壁滑動嵌設，多個所述滾輪(5)的頂部之間放置有多個單晶硅本體(6)，所述裝置外殼(1)的底部設置有刻蝕液體(7)，所述裝置外殼(1)的內部底面固定有金屬板(8)，所述裝置外殼(1)的后表面固定有防護外殼(17)，所述防護外殼(17)的內部設置有電機(18)，所述電機(18)的輸出軸固定有牽引軸(19)，所述牽引軸(19)的外表面與一個所述滾輪(5)的外表面之間滑動套設有牽引繩(20)，多個所述滾輪(5)的兩端之間均滑動套設有銜接繩(21)。

2.根據權利要求1所述的一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，其特征在于：所述裝置外殼(1)的一側外面設置有進料口(22)，所述裝置外殼(1)的另一側外表面設置有出料口(23)。

3.根據權利要求1所述的一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，其特征在于：所述裝置外殼(1)的底部固定有冷凝箱(10)，所述冷凝箱(10)的內部底面開設有多個方形槽(11)。

4.根據權利要求3所述的一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，其特征在于：多個所述方形槽(11)的內部均設置有散熱扇(12)，所述冷凝箱(10)的兩側外表面均開設有滑槽(13)。

5.根據權利要求4所述的一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，其特征在于：兩個所述滑槽(13)的內部均滑動嵌設有防塵板(14)，所述冷凝箱(10)的頂部設置有多個冷凝管(9)。

6.根據權利要求5所述的一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，其特征在于：多個所述冷凝管(9)的頂部均與金屬板(8)的底部固定連接，所述冷凝箱(10)的底部四角均固定有支撐腿(15)。