[實(shí)用新型]一種晶棒取片工裝、晶棒承載裝置及晶棒切斷設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120490095.5
• 申請(qǐng)日: 2021-03-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN216941339U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 普熠坤;嚴(yán)霽云;白喜軍;黃健;李進(jìn);楊博;鐘慧芳;孫洪旺;雷鑫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 麗江隆基硅材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/00
• 代理公司: 北京知迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11628
• 代理人: 王志煒;王勝利

1.一種晶棒取片工裝，其特征在于，包括：

用于安裝在晶座上的底座，所述底座具有承載晶棒的承載面；

以及與所述底座可拆卸連接的晶棒固定件；

當(dāng)晶棒位于承載面，所述晶棒固定件與所述底座可拆卸連接，所述晶棒固定件與所述底座的承載面圍成限位區(qū)域，所述晶棒位于所述限位區(qū)域內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述底座具有與所述晶座卡接的卡槽，所述卡槽與至少部分所述晶座匹配。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述底座具有與所述晶棒固定件連接的連接結(jié)構(gòu)，連接結(jié)構(gòu)包括分別與所述晶棒固定件的兩端連接的兩個(gè)連接部，至少一個(gè)所述連接部與所述晶棒固定件可拆卸連接；兩個(gè)所述連接部分別位于所述承載面的兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述連接結(jié)構(gòu)的組數(shù)為多組，所述晶棒固定件的數(shù)量為多個(gè)，每個(gè)所述晶棒固定件與相應(yīng)組所述連接結(jié)構(gòu)連接；

當(dāng)所述晶棒位于承載面，多組所述連接結(jié)構(gòu)沿所述晶棒的軸向方向分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述連接部為提手或拉環(huán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述晶棒固定件為柔性固定帶或彈性固定帶。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述晶棒取片工裝還包括設(shè)于底座上的晶片接片結(jié)構(gòu)，所述晶片接片結(jié)構(gòu)位于所述承載面的一側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶棒取片工裝，其特征在于，所述晶片接片結(jié)構(gòu)包括載片部以及設(shè)于所述載片部遠(yuǎn)離所述承載面的一側(cè)的限位部，所述載片部與所述底座連接；所述載片部具有用于限制晶片滾動(dòng)的凹槽；和/或，

所述晶片接片結(jié)構(gòu)設(shè)于所述底座的側(cè)壁，所述底座的側(cè)壁具有用于安裝所述晶片接片結(jié)構(gòu)的至少一個(gè)安裝窗口。

9.一種晶棒承載裝置，其特征在于，包括晶座以及安裝在所述晶座上的權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的晶棒取片工裝。

10.一種晶棒切斷設(shè)備，其特征在于，包括多個(gè)切割部以及權(quán)利要求9所述的晶棒承載裝置。