[實(shí)用新型]一種載具修整裝置和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120473652.2
• 申請(qǐng)日: 2021-03-04
• 公開（公告）號(hào): CN214445578U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵燕麓;張潔;陳文鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B24B53/017
• 分類號(hào): B24B53/017;B24B41/06;B24B53/095;B24B49/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 馮潔

本實(shí)用新型涉及晶體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種載具修整裝置和系統(tǒng)。一種載具修整裝置，包括工作臺(tái)、裝夾組件、頂升組件以及修整組件；裝夾組件及頂升組件均與工作臺(tái)可活動(dòng)地連接，裝夾組件用于夾緊位于工作臺(tái)上的載具，頂升組件用于頂升位于工作臺(tái)上的載具；修整組件用于相對(duì)于工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，以修整被裝夾組件夾緊的載具的載具。該載具修整裝置能夠?qū)d具被拋光液腐蝕的底部進(jìn)行修整，從而使得載具能夠正常使用，進(jìn)而能夠有效延長載具的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種載具修整裝置和系統(tǒng)。

背景技術(shù)

碳化硅(SiC)作為三代半導(dǎo)體材料的運(yùn)用因其具有寬禁帶，高擊穿場(chǎng)，大熱導(dǎo)率，電子飽和漂移速度高，抗輻射強(qiáng)和良好化學(xué)穩(wěn)定性的優(yōu)越性質(zhì)，成為新一代微電子器件和電路的關(guān)鍵半導(dǎo)體材料。SiC晶體材料在制作大功率微波器件、耐高溫器件方面具有顯著的優(yōu)勢(shì)，是電子信息、節(jié)能減排、國防建設(shè)等產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。同時(shí)SiC與制作大功率微波、電力電子、光電器件的重要材料GaN之間具有非常好的匹配度，是SiC成為新一代寬帶半導(dǎo)體器件的重要襯底材料。在實(shí)際應(yīng)用中，要求SiC晶片表面超光滑、無缺陷、無損傷，表面粗糙度值達(dá)納米級(jí)以下，其表面加工的質(zhì)量和精度的優(yōu)劣，直接影響器件的質(zhì)量和性能。

SiC襯底晶片的加工包括晶棒的線切、研磨、倒角、退火、貼蠟、銅拋、拋光等制程。經(jīng)過線切后晶片表面會(huì)留下較大的損傷層和殘留應(yīng)力，需要通過研磨、退火、銅拋、拋光等制程；逐步進(jìn)行修復(fù)。拋光作為加工段的最終制程，主要用途是去除銅拋后晶片表面的損傷層與表面刮傷以實(shí)現(xiàn)晶片全局平坦化表面超光滑無損傷納米級(jí)表面。拋光是碳化硅晶片通過與水結(jié)合吸附在載具上，而經(jīng)過一段時(shí)間的拋光，載具底部會(huì)出現(xiàn)一定程度的腐蝕，載具的腐蝕會(huì)導(dǎo)致晶片TTV(總厚度變化)、Bow(彎曲度)及Warp(翹曲度)數(shù)據(jù)上升，這使得載具壽命短，平均壽命僅有530min。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種載具修整裝置和系統(tǒng)，該載具修整裝置能夠?qū)d具被拋光液腐蝕的底部進(jìn)行修整，從而使得載具能夠正常使用，進(jìn)而能夠有效延長載具的使用壽命。

本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

第一方面，本實(shí)用新型提供一種載具修整裝置，載具修整裝置包括工作臺(tái)、裝夾組件、頂升組件以及修整組件；

裝夾組件及頂升組件均與工作臺(tái)可活動(dòng)地連接，裝夾組件用于夾緊位于工作臺(tái)上的載具，頂升組件用于頂升位于工作臺(tái)上的載具；

修整組件用于相對(duì)于工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，以修整被裝夾組件夾緊的載具的載具。

在可選的實(shí)施方式中，修整組件包括機(jī)架以及與機(jī)架可活動(dòng)地連接的修整盤，修整盤用于在外力的作用下向靠近或遠(yuǎn)離工作臺(tái)的方向運(yùn)動(dòng)，以修整載具。

在可選的實(shí)施方式中，修整組件還包括與機(jī)架連接的滑軌，滑軌沿垂直于工作臺(tái)的方向延伸，修整盤與滑軌可滑動(dòng)地配合。

在可選的實(shí)施方式中，修整組件還包括連接臺(tái)，連接臺(tái)與滑軌可滑動(dòng)地配合，修整盤與連接臺(tái)可活動(dòng)地連接。

在可選的實(shí)施方式中，修整盤與連接臺(tái)可滑動(dòng)地連接。

在可選的實(shí)施方式中，修整盤相對(duì)于連接臺(tái)滑動(dòng)的方向與連接臺(tái)相對(duì)機(jī)架滑動(dòng)的方向垂直。

在可選的實(shí)施方式中，修整組件還包括厚度計(jì)量計(jì)，厚度計(jì)量計(jì)用于測(cè)量被裝夾組件夾緊的載具的載具孔的深度。

在可選的實(shí)施方式中，載具修整裝置還包括出液組件，出液組件用于向被裝夾組件夾緊的載具輸送冷卻液。

在可選的實(shí)施方式中，載具修整裝置還包括機(jī)械臂，機(jī)械臂用于移出工作臺(tái)上的載具，或用于向工作臺(tái)放置載具。

第二方面，本實(shí)用新型提供一種載具修整系統(tǒng)，載具修整系統(tǒng)包括上述的載具修整裝置。