[實(shí)用新型]一種載具修整裝置和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120473652.2
• 申請(qǐng)日: 2021-03-04
• 公開（公告）號(hào): CN214445578U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵燕麓;張潔;陳文鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B24B53/017
• 分類號(hào): B24B53/017;B24B41/06;B24B53/095;B24B49/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 馮潔

1.一種載具修整裝置，其特征在于：

所述載具修整裝置包括工作臺(tái)、裝夾組件、頂升組件以及修整組件；

所述裝夾組件及所述頂升組件均與所述工作臺(tái)可活動(dòng)地連接，所述裝夾組件用于夾緊位于所述工作臺(tái)上的載具，所述頂升組件用于頂升位于所述工作臺(tái)上的載具；

所述修整組件用于相對(duì)于所述工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，以修整被所述裝夾組件夾緊的所述載具。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述修整組件包括機(jī)架以及與所述機(jī)架可活動(dòng)地連接的修整盤，所述修整盤用于在外力的作用下向靠近或遠(yuǎn)離所述工作臺(tái)的方向運(yùn)動(dòng)，以修整所述載具。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述修整組件還包括與所述機(jī)架連接的滑軌，所述滑軌沿垂直于所述工作臺(tái)的方向延伸，所述修整盤與所述滑軌可滑動(dòng)地配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述修整組件還包括連接臺(tái)，所述連接臺(tái)與所述滑軌可滑動(dòng)地配合，所述修整盤與所述連接臺(tái)可活動(dòng)地連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述修整盤與所述連接臺(tái)可滑動(dòng)地連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述修整盤相對(duì)于所述連接臺(tái)滑動(dòng)的方向與所述連接臺(tái)相對(duì)所述機(jī)架滑動(dòng)的方向垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述修整組件還包括厚度計(jì)量計(jì)，所述厚度計(jì)量計(jì)用于測量被所述裝夾組件夾緊的所述載具的載具孔的深度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述載具修整裝置還包括出液組件，所述出液組件用于向被所述裝夾組件夾緊的所述載具輸送冷卻液。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的載具修整裝置，其特征在于：

所述載具修整裝置還包括機(jī)械臂，所述機(jī)械臂用于移出所述工作臺(tái)上的所述載具，或用于向所述工作臺(tái)放置所述載具。

10.一種載具修整系統(tǒng)，其特征在于：

所述載具修整系統(tǒng)包括如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的載具修整裝置。