[實用新型]多功能酸洗臺裝置有效
| 申請號： | 202120367211.4 | 申請日： | 2021-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN214313143U | 公開（公告）日： | 2021-09-28 |
| 發明（設計）人： | 楊培新;陳俊峰;洪紹鑫 | 申請（專利權）人： | 淄博綠能芯創電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海段和段律師事務所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭國中 |
| 地址： | 255025 山東省淄博市高新區中*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多功能 酸洗 裝置 | ||
1.一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，包括設備本體和控制裝置，其中：
設備本體中部設置有操作平臺，操作平臺上設置有酸槽和水洗槽；
操作平臺的上方設置有控制樣品運動的機械臂；
操作平臺的周向側壁設置有抽氣系統；
控制裝置控制機械臂的運動，控制對酸槽、水洗槽的清洗程序。
2.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述酸槽內設置有加熱裝置，通過加熱裝置對槽內水溫進行控制。
3.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述酸槽內還設置有燒杯固定卡口，通過燒杯固定卡口固定所述燒杯。
4.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述酸槽的旁邊還設置有洞板，洞板下方設置有防漏盤。
5.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述酸槽的旁邊還設置水龍頭。
6.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述水洗槽包括PFA鼓泡裝置和/或超聲波震動裝置。
7.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，設備本體的頂部設置有FFU系統，FFU系統能夠形成向下的氣簾。
8.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述水洗槽還包括熱氮氣管路。
9.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，所述抽氣系統包括設置在操作平臺周向側壁的多個抽氣柵格口以及設置在側壁內的抽氣裝置。
10.根據權利要求1所述的一種多功能酸洗臺裝置，其特征在于，還包括排放系統，所述排放系統連通酸槽和水洗槽，排放系統包括多個排放管道，多個排放管道和酸槽、水洗槽之間設置有切換閥件。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
