[實(shí)用新型]一種膜切割結(jié)構(gòu)及貼膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120349626.9
• 申請(qǐng)日: 2021-02-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214827810U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施心星
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州鐳明激光科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65H35/06
• 分類(lèi)號(hào): B65H35/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京恒博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11528
• 代理人: 范勝祥

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種膜切割結(jié)構(gòu)及貼膜裝置，膜切割結(jié)構(gòu)包括貼膜臺(tái)、壓膜組件和切膜組件，貼膜裝置的第一抓料組件用于抓取支撐環(huán)放于晶圓外圍，通過(guò)膜切割結(jié)構(gòu)的貼膜組件將粘接膜貼附并裁切于晶圓和支撐環(huán)上。在晶圓外圍同軸設(shè)置支撐環(huán)，支撐環(huán)可為貼膜后的晶圓提供支撐，便于晶圓的轉(zhuǎn)運(yùn)以及轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中的穩(wěn)定性。控制膜切割結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)切刀旋轉(zhuǎn)，并使切刀與粘接膜接觸，可裁切出圓心與晶圓中心軸重疊的圓形粘接膜，裁切方式和裁切結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適用性高，便于提高晶圓加工效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種膜切割結(jié)構(gòu)及貼膜裝置。

背景技術(shù)

在晶圓的加工過(guò)程中，其中一道工序?yàn)樵诰A表面或背面貼上薄膜，以保護(hù)晶圓或便于晶圓的切割等。在貼附薄膜時(shí)，薄膜的寬度尺寸會(huì)大于晶圓的直徑以確保薄膜可將晶圓全面覆蓋，并需確保薄膜與晶圓表面緊密貼合，防止外部雜質(zhì)進(jìn)入薄膜與晶圓表面之間損傷晶圓。

相關(guān)技術(shù)中，采用兩步分割晶圓的加工方式，需在晶圓背面和正面分別貼覆薄膜。尤其是在晶圓被分割后，貼于晶圓背面的薄膜還可用于連接被分割后的晶圓，以便于將晶圓正面的薄膜去除，以及便于對(duì)貼于晶圓背面的薄膜進(jìn)行擴(kuò)膜處理以將被切割后的晶圓從薄膜上取下。由于晶圓被切割成多個(gè)獨(dú)立的晶圓粒，薄膜雖可連接多個(gè)晶圓粒，但薄膜對(duì)晶圓的支撐性能較差，薄膜發(fā)生形變后可能導(dǎo)致相鄰兩個(gè)晶圓粒之間接觸摩擦或擠壓發(fā)生位移。因此，晶圓被切割后的轉(zhuǎn)移穩(wěn)定性成為晶圓加工過(guò)程中的一個(gè)難點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N膜切割結(jié)構(gòu)及貼膜裝置。

第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種膜切割結(jié)構(gòu)，包括貼膜臺(tái)、布膜組件切膜組件。貼膜臺(tái)用于承載晶圓和同軸設(shè)于晶圓外圍的支撐環(huán)；布膜組件用于提供粘接膜并將粘接膜貼于晶圓和支撐環(huán)表面；切膜組件包括切刀、安裝臂和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件，切刀的刀刃與貼于支撐環(huán)表面或位于支撐環(huán)外圍的粘接膜接觸，切刀安裝于安裝臂，安裝臂安裝于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端，其中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件用于帶動(dòng)切刀以晶圓的軸線(xiàn)為中心軸旋轉(zhuǎn)以切割粘接膜。

在一些示例性的實(shí)施例中，布膜組件包括平行設(shè)置的放卷輥和收卷輥以及設(shè)于放卷輥和收卷輥之間的壓膜輥，放卷輥上存儲(chǔ)有粘接膜，收卷輥用于牽引粘接膜罩設(shè)于晶圓和支撐環(huán)，壓膜輥與粘接膜抵接至粘接膜貼于晶圓和支撐環(huán)表面。

在一些示例性的實(shí)施例中，壓膜輥與放卷輥平行設(shè)置，布膜組件還包括用于帶動(dòng)壓膜輥沿平行于晶圓板面方向移動(dòng)的平移驅(qū)動(dòng)件；切膜組件還包括與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件連接并用于帶動(dòng)切刀遠(yuǎn)離或靠近晶圓的升降驅(qū)動(dòng)件。

在一些示例性的實(shí)施例中，在垂直于晶圓表面的方向上，壓膜輥外表面與晶圓表面相接。

在一些示例性的實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端設(shè)有安裝塊，安裝臂可調(diào)節(jié)地安裝于安裝塊上以調(diào)節(jié)切刀相對(duì)于晶圓中心軸的距離。

在一些示例性的實(shí)施例中，切刀為圓形切刀，且圓形切刀軸向與晶圓板面平行，圓形切刀以其軸向?yàn)橹行妮S可旋轉(zhuǎn)地安裝于安裝臂上。

第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種貼膜裝置，包括貼膜驅(qū)動(dòng)組件、第一抓料機(jī)構(gòu)、第二抓料機(jī)構(gòu)以及如上的膜切割結(jié)構(gòu)。貼膜驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)端與貼膜臺(tái)連接用于帶動(dòng)貼膜臺(tái)在第一工位和第二工位之間移動(dòng)，布膜組件和切膜組件設(shè)于第一工位和第二工位之間；第一抓料機(jī)構(gòu)用于抓取支撐環(huán)放置于第一工位處的晶圓外圍；第二抓料機(jī)構(gòu)用于抓取位于第二工位處的已貼粘接膜的支撐環(huán)和晶圓，并將已貼粘接膜的支撐環(huán)和晶圓轉(zhuǎn)移至下一個(gè)工位。

在一些示例性的實(shí)施例中，貼膜裝置還包括放置架，支撐環(huán)存放于放置架上，放置架臨近第一工位設(shè)置。

在一些示例性的實(shí)施例中，貼膜裝置還包括臨近第二工位設(shè)置的儲(chǔ)料架，儲(chǔ)料架用于存放第二抓料機(jī)構(gòu)從第二工位處轉(zhuǎn)移的已貼粘接膜的支撐環(huán)和晶圓。