[實用新型]一種膜切割結構及貼膜裝置

有效

• 申請號: 202120349626.9
• 申請日: 2021-02-07
• 公開（公告）號: CN214827810U
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 施心星
• 申請（專利權）人: 蘇州鐳明激光科技有限公司
• 主分類號: B65H35/06
• 分類號: B65H35/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京恒博知識產權代理有限公司 11528
• 代理人: 范勝祥

1.一種膜切割結構，其特征在于，包括：

貼膜臺，用于承載晶圓和同軸設于所述晶圓外圍的支撐環；

布膜組件，用于提供粘接膜并將所述粘接膜貼于所述晶圓和所述支撐環表面；及

切膜組件，包括切刀、安裝臂和旋轉驅動件，所述切刀的刀刃與貼于所述支撐環表面或位于所述支撐環外圍的所述粘接膜接觸，所述切刀安裝于所述安裝臂，所述安裝臂安裝于所述旋轉驅動件的驅動端，其中，所述旋轉驅動件用于帶動所述切刀以所述晶圓的軸線為中心軸旋轉以切割所述粘接膜。

2.根據權利要求1所述的膜切割結構，其特征在于，所述布膜組件包括平行設置的放卷輥和收卷輥以及設于所述放卷輥和所述收卷輥之間的壓膜輥，所述放卷輥上存儲有所述粘接膜，所述收卷輥用于牽引所述粘接膜罩設于所述晶圓和所述支撐環，所述壓膜輥與所述粘接膜抵接至所述粘接膜貼于所述晶圓和所述支撐環表面。

3.根據權利要求2所述的膜切割結構，其特征在于，所述壓膜輥與所述放卷輥平行設置，所述布膜組件還包括用于帶動所述壓膜輥沿平行于所述晶圓的板面方向移動的平移驅動件；

所述切膜組件還包括與所述旋轉驅動件連接并用于帶動所述切刀遠離或靠近所述晶圓的升降驅動件。

4.根據權利要求3所述的膜切割結構，其特征在于，在垂直于所述晶圓表面的方向上，所述壓膜輥外表面與所述晶圓表面相接。

5.根據權利要求1所述的膜切割結構，其特征在于，所述旋轉驅動件的驅動端設有安裝塊，所述安裝臂可調節地安裝于所述安裝塊上以調節所述切刀相對于所述晶圓中心軸的距離。

6.根據權利要求1所述的膜切割結構，其特征在于，所述切刀為圓形切刀，且所述圓形切刀軸向與所述晶圓的板面平行，所述圓形切刀以其軸向為中心軸可旋轉地安裝于所述安裝臂上。

7.一種貼膜裝置，其特征在于，包括：

如上述權利要求1-6中任一項權利要求中所述的膜切割結構；

貼膜驅動組件，所述貼膜驅動組件的驅動端與所述貼膜臺連接用于帶動所述貼膜臺在第一工位和第二工位之間移動，所述布膜組件和所述切膜組件設于所述第一工位和第二工位之間；

第一抓料機構，用于抓取所述支撐環放置于所述第一工位處的所述晶圓外圍；及

第二抓料機構，用于抓取位于所述第二工位處的已貼所述粘接膜的所述支撐環和所述晶圓，并將已貼所述粘接膜的所述支撐環和所述晶圓轉移至下一個工位。

8.根據權利要求7所述的貼膜裝置，其特征在于，所述貼膜裝置還包括放置架，所述支撐環存放于所述放置架上，所述放置架臨近所述第一工位設置。

9.根據權利要求7所述的貼膜裝置，其特征在于，所述貼膜裝置還包括臨近所述第二工位設置的儲料架，所述儲料架用于存放所述第二抓料機構從所述第二工位處轉移的已貼所述粘接膜的所述支撐環和所述晶圓。

10.根據權利要求7所述的貼膜裝置，其特征在于，以第一工位到第二工位的方向為預設方向，所述第一抓料機構設置為沿垂直于所述預設方向的方向帶動所述支撐環放置于所述貼膜臺上，所述第二抓料機構設置為沿垂直于所述預設方向的方向帶動所述晶圓、所述支撐環和所述粘接膜轉移至下一個工位。