[實用新型]一種集成電路器件加工用蝕刻裝置

有效

• 申請號: 202120332623.4
• 申請日: 2021-02-05
• 公開（公告）號: CN214203631U
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 陳初俠;葉松
• 申請（專利權）人: 巢湖學院
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 合肥律眾知識產權代理有限公司 34147
• 代理人: 殷娟

1.一種集成電路器件加工用蝕刻裝置，包括箱體（1），其特征在于，所述箱體（1）的頂部內壁固定連接有支撐板（9），且所述支撐板（9）的一側外壁固定連接有電機（8），所述電機（8）的輸出軸一端外壁固定連接有轉動桿，且所述轉動桿的圓周外壁開有外螺紋（11），所述外螺紋（11）的數目為兩組，且兩組所述外螺紋（11）的圓周外壁螺紋連接有螺紋套筒（12），所述螺紋套筒（12）的底部外壁固定連接有夾持組件，且所述夾持組件的一側外壁夾持有電路板本體（16），所述箱體（1）的一側外壁固定連接有放置板，且所述放置板的頂部外壁設置有噴淋組件。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路器件加工用蝕刻裝置，其特征在于，所述噴淋組件包括固定在所述放置板頂部外壁的儲液箱（2），且所述儲液箱（2）的內部盛放有蝕刻液，所述儲液箱（2）的頂部外壁固定連接有泵體（4），所述泵體（4）的頂部外壁插接有出液管（5），所述出液管（5）的一端插接有固定管（6），所述固定管（6）的一側外壁插接有連接管，所述連接管的一端插接有第二分液管（30），所述連接管的底部外壁插接有第一分液管（15），所述第一分液管（15）和第二分液管（30）的一側外壁分別設置有第一控制閥（3）和第二控制閥（7），所述第二分液管（30）的底部外壁插接有等距離分布的波紋管（19），所述波紋管（19）的一端外壁設置有噴頭（23）。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路器件加工用蝕刻裝置，其特征在于，所述夾持組件包括固定連接在所述螺紋套筒（12）底部外壁的連接桿（18），且所述連接桿（18）的一端外壁固定連接有安裝盤，所述安裝盤的底部外壁固定連接有夾持環（25），所述夾持環（25）的一側外壁開有固定槽（26）。

4.根據權利要求3所述的一種集成電路器件加工用蝕刻裝置，其特征在于，所述螺紋套筒（12）的頂部外壁固定連接有固定柱，且所述固定柱的一端外壁固定連接有滑塊（13），所述箱體（1）的頂部內壁開有滑槽（10），所述滑塊（13）的一側外壁與所述滑槽（10）的兩側內壁形成滑動連接。

5.根據權利要求4所述的一種集成電路器件加工用蝕刻裝置，其特征在于，所述波紋管（19）的圓周外壁套接有套管（20），且所述套管（20）的兩側外壁均固定連接有拉環（22），所述拉環（22）的圓周外壁栓接有牽引繩（21），所述箱體（1）的一側內壁設置有電動推桿（14），所述電動推桿（14）的一端外壁固定連接有掛鉤，所述掛鉤與牽引繩（21）的一端形成固定連接，所述第二分液管（30）的底部外壁固定連接有安裝板（29），所述安裝板（29）的一側外壁固定連接有彈簧（28），所述彈簧（28）遠離安裝板（29）的一端固定連接有固定桿（27），所述固定桿（27）的兩端均固定連接在所述套管（20）的一側外壁上。

6.根據權利要求5所述的一種集成電路器件加工用蝕刻裝置，其特征在于，所述箱體（1）的兩側內壁均固定連接有斜板（17），且所述斜板（17）位于所述電路板本體（16）的下方。