[實用新型]一種手工顯影蝕刻脫膜設備

有效

• 申請號: 202120331448.7
• 申請日: 2021-02-05
• 公開（公告）號: CN214098106U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 葉小穩;甄華彪;葛翔;張華超
• 申請（專利權）人: 合肥清溢光電有限公司
• 主分類號: G03F1/68
• 分類號: G03F1/68;G03F1/82;G03F7/30;G03F7/40
• 代理公司: 合肥律眾知識產權代理有限公司 34147
• 代理人: 夏舜

本實用新型公開了一種手工顯影蝕刻脫膜設備，包括脫模槽本體，脫模槽本體上部設置有顯影槽、蝕刻槽、清洗槽、沖洗槽和可移動沖洗龍頭，脫模槽本體底部設置有三排液管和四排水管，三排液管分別與顯影槽、蝕刻槽、清洗槽連通，四排水管分別與顯影槽、蝕刻槽、清洗槽和沖洗槽連通，顯影槽、蝕刻槽和清洗槽各自的口部與沖洗槽之間分別設置有導流槽，導流槽底面向沖洗槽端傾斜；本實用新型的手工顯影蝕刻脫膜設備，用于手動對測試版的掩模版進行顯影、蝕刻、脫膜處理，節省成本，提高測試效率。

技術領域

本實用新型屬于掩模版生產設備領域，更具體的說涉及一種手工顯影蝕刻脫膜設備。

背景技術

掩模版在曝光后需要經過顯影、蝕刻、脫膜處理，在正常生產作業時，除正常生產的大量產的大尺寸光掩模版外，還有部分是新產品做的小尺寸測試版，大尺寸以及小尺寸，都是放在顯影機、蝕刻機、清洗機里進行處理。據統計，總耗時約4小時，顯影每次需要63KG顯影液，約236元；蝕刻每次需要蝕刻液38KG，約1520元；清洗用硫酸每次需要63KG，約225元；此三種藥液合計1981元。新產品的測試版不僅增加公司的生產成本，而且還降低量產品對設備的利用率，因此，研發一種能針對大小尺寸產品顯影、蝕刻、脫膜的手工槽尤為重要。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種手工顯影蝕刻脫膜設備，用于手動對測試版的掩模版進行顯影、蝕刻、脫膜處理，節省成本，提高測試效率。

本實用新型技術方案一種手工顯影蝕刻脫膜設備，包括脫模槽本體，所述脫模槽本體上部設置有顯影槽、蝕刻槽、清洗槽、沖洗槽和可移動沖洗龍頭，所述脫模槽本體底部設置有三排液管和四排水管，所述三排液管分別與顯影槽、蝕刻槽、清洗槽連通，所述四排水管分別與顯影槽、蝕刻槽、清洗槽和沖洗槽連通，所述顯影槽、蝕刻槽和清洗槽各自的口部與所述沖洗槽之間分別設置有導流槽，所述導流槽底面向沖洗槽端傾斜。

優選地，所述顯影槽、蝕刻槽、清洗槽和沖洗槽底面均設置為傾斜狀，所述顯影槽、蝕刻槽和清洗槽內在傾斜底面的最低點位置均分別設置有排液口和排水口，所述排液口和排水口分別與排液管和排水掛密閉連通，所述沖洗槽的傾斜底面的最低點位置設置有與排水管連接的排水口。

優選地，所述顯影槽、蝕刻槽和清洗槽的口部均分別設置有擴口槽，所述導流槽與所述擴口槽連通。

優選地，所述沖洗槽的內底面上設置有若干支撐條，所述支撐條與脫模槽本體一體成型。

優選地，所述支撐條上表面呈傾斜狀，支撐條傾斜方向與沖洗槽的底面傾斜方向一致，支撐條上表面與所述沖洗槽口部距離最小處高度不小于10厘米，在支撐條較高端的沖洗槽側面上固定有沖洗管，所述沖洗管上設置有朝向支撐條較高端的若干出水口，相鄰兩出水口之間距離不大于10mm，沖洗管上連接有進水管和控制閥。

優選地，所述支撐條厚度為3mm，長度為600mm，相鄰兩支撐條之間距離為50mm。

本實用新型技術方案的一種手工顯影蝕刻脫膜設備的有益效果是：通過設置顯影槽、蝕刻槽、清洗槽和沖洗槽，實現手動對測試版的掩膜版進行手動清洗，節省本體，提高清洗效率。

附圖說明

圖1為本實用新型技術方案的一種手工顯影蝕刻脫膜設備結構示意圖，

圖2為本技術方案的一種手工顯影蝕刻脫膜設備另一視角結構示意圖，

圖3為本實用新型技術方案的一種手工顯影蝕刻脫膜設備的剖視圖。

具體實施方式

為便于本領域技術人員理解本實用新型技術方案，現結合說明書附圖對本實用新型技術方案做進一步的說明。