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[實用新型]一種手工顯影蝕刻脫膜設備有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202120331448.7 申請日: 2021-02-05
公開(公告)號: CN214098106U 公開(公告)日: 2021-08-31
發(fā)明(設計)人: 葉小穩(wěn);甄華彪;葛翔;張華超 申請(專利權)人: 合肥清溢光電有限公司
主分類號: G03F1/68 分類號: G03F1/68;G03F1/82;G03F7/30;G03F7/40
代理公司: 合肥律眾知識產權代理有限公司 34147 代理人: 夏舜
地址: 230000 安徽省合*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 手工 顯影 蝕刻 設備
【權利要求書】:

1.一種手工顯影蝕刻脫膜設備,其特征在于,包括脫模槽本體,所述脫模槽本體上部設置有顯影槽、蝕刻槽、清洗槽、沖洗槽和可移動沖洗龍頭,所述脫模槽本體底部設置有三排液管和四排水管,所述三排液管分別與顯影槽、蝕刻槽、清洗槽連通,所述四排水管分別與顯影槽、蝕刻槽、清洗槽和沖洗槽連通,所述顯影槽、蝕刻槽和清洗槽各自的口部與所述沖洗槽之間分別設置有導流槽,所述導流槽底面向沖洗槽端傾斜。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種手工顯影蝕刻脫膜設備,其特征在于,所述顯影槽、蝕刻槽、清洗槽和沖洗槽底面均設置為傾斜狀,所述顯影槽、蝕刻槽和清洗槽內在傾斜底面的最低點位置均分別設置有排液口和排水口,所述排液口和排水口分別與排液管和排水掛密閉連通,所述沖洗槽的傾斜底面的最低點位置設置有與排水管連接的排水口。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種手工顯影蝕刻脫膜設備,其特征在于,所述顯影槽、蝕刻槽和清洗槽的口部均分別設置有擴口槽,導流槽與所述擴口槽連通。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種手工顯影蝕刻脫膜設備,其特征在于,所述沖洗槽的內底面上設置有若干支撐條,所述支撐條與脫模槽本體一體成型。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種手工顯影蝕刻脫膜設備,其特征在于,所述支撐條上表面呈傾斜狀,支撐條傾斜方向與沖洗槽的底面傾斜方向一致,支撐條上表面與所述沖洗槽口部距離最小處高度不小于10厘米,在支撐條較高端的沖洗槽側面上固定有沖洗管,所述沖洗管上設置有朝向支撐條較高端的若干出水口,相鄰兩出水口之間距離不大于10mm,沖洗管上連接有進水管和控制閥。

6.根據(jù)權利要求4所述的一種手工顯影蝕刻脫膜設備,其特征在于,所述支撐條厚度為3mm,長度為600mm,相鄰兩支撐條之間距離為50mm。

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