[實用新型]一種便于維護的反應爐有效
| 申請號： | 202120299429.0 | 申請日： | 2021-02-02 |
| 公開（公告）號： | CN214470002U | 公開（公告）日： | 2021-10-22 |
| 發明（設計）人： | 徐春陽;鄭冬;劉明軍 | 申請（專利權）人： | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 主分類號： | F27B5/04 | 分類號： | F27B5/04;F27B5/06;F27D7/06;B08B17/04 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201400 上海市奉*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 便于 維護 反應爐 | ||
1.一種便于維護的反應爐，包括：
爐管(1)，用于放置待處理晶圓和/或托盤；
爐門組件(3)，位于所述爐管(1)的至少一端部，將所述爐管(1)與外部連通或隔離；
內套管(2)，靠近所述爐門組件(3)，且至少一部分位于所述爐管(1)內部；
供氣系統(5)，與所述爐管(1)相連通，用于向所述爐管(1)內通入氣體；
排氣系統(6)，用于將所述爐管(1)內氣體排出到外界，
其特征在于，具有隔離物(7)，所述隔離物(7)填充在所述爐管(1)與內套管(2)之間，使得所述內套管(2)活動內接于所述爐管(1)。
2.根據權利要求1所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述隔離物(7)為耐腐蝕材料，所述隔離物(7)包繞在所述內套管(2)的至少一部分外表面，使得所述內套管(2)與所述爐管(1)之間形成密封隔離帶。
3.根據權利要求2所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述隔離物(7)以粘接的形式包繞在所述內套管(2)的至少一部分外表面。
4.根據權利要求1所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述內套管(2)的數量為至少一個。
5.根據權利要求4所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述隔離物(7)包繞于至少一個內套管(2)的至少一部分外表面。
6.根據權利要求5所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述隔離物(7)包繞于最靠近爐門組件(3)的內套管(2)的至少一部分外表面。
7.根據權利要求1所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述隔離物(7)為彈性耐腐蝕材料。
8.根據權利要求1所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述爐管(1)為石英管，所述內套管(2)為石英套管。
9.根據權利要求1所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述內套管(2)與所述爐管(1)之間徑向距離為0-5mm。
10.根據權利要求1所述的便于維護的反應爐，其特征在于，所述爐門組件(3)包括爐門頭(31)和承載臺(32)，實現將待處理晶圓和/或托盤表面材料層傳入或傳出所述爐管(1)內。
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