[實(shí)用新型]一種便于維護(hù)的反應(yīng)爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120299429.0
• 申請(qǐng)日: 2021-02-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214470002U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐春陽(yáng);鄭冬;劉明軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 楚赟精工科技（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F27B5/04
• 分類(lèi)號(hào): F27B5/04;F27B5/06;F27D7/06;B08B17/04
• 代理公司: 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實(shí)用新型提供一種便于維護(hù)的反應(yīng)爐，包括：爐管，位于所述爐管的至少一端的爐門(mén)組件，靠近所述爐門(mén)組件，且至少一部分位于所述爐管內(nèi)部的內(nèi)套管，填充在所述爐管與內(nèi)套管之間的耐腐蝕耐磨隔離物，供氣系統(tǒng)及排氣系統(tǒng)等。本實(shí)用新型所述反應(yīng)爐在爐管內(nèi)靠近爐門(mén)處增加內(nèi)套管用于沉積反應(yīng)殘留物，避免爐管?chē)?yán)重臟污而需頻繁拆卸清理，顯著延長(zhǎng)爐管的維護(hù)周期，減少爐管拆卸頻次，降低爐管破碎概率，減少人力成本與維護(hù)成本。此外，內(nèi)套管通過(guò)填充在爐管與內(nèi)套管之間的耐腐蝕隔離物活動(dòng)地內(nèi)接于爐管內(nèi)，不會(huì)引起氣流場(chǎng)不均勻而影響工藝效果，同時(shí)使得安裝拆卸內(nèi)套管更加方便快捷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于熱處理設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種便于維護(hù)的反應(yīng)爐。

背景技術(shù)

目前，擴(kuò)散爐、合金爐、刻蝕爐等管式反應(yīng)爐進(jìn)出石英舟時(shí)，開(kāi)腔后的爐門(mén)頭接觸到空氣。其中，擴(kuò)散爐，合金爐腔體內(nèi)殘留的磷化物氣體(三氯氧磷)易生成偏磷酸，能夠?qū)⑹t管腐蝕穿孔。而刻蝕爐腔體中殘留的氯化物(氯化鎵，氯化亞鐵)發(fā)生潮解反應(yīng)，形成水柱或者呈綠至黃色的斑跡。上述臟污腐蝕嚴(yán)重的部分集中在爐門(mén)頭前半部分。因此，嚴(yán)重時(shí)每周都需對(duì)此類(lèi)反應(yīng)爐設(shè)備進(jìn)行清理，而清理需要拆卸整個(gè)石英管，因?yàn)槭⑶还鼙谳^大，人員清理操作不方便，且安裝較復(fù)雜，石英件易碎，嚴(yán)重影響其使用壽命。

為了保護(hù)石英爐管，避免其被沉積的反應(yīng)殘留物腐蝕損壞，延長(zhǎng)爐管使用壽命，采用在石英爐管內(nèi)部焊接內(nèi)套管的方法，但是拆卸極不方便。而只將內(nèi)套管放置于爐管內(nèi)部的話(huà)，在無(wú)任何支撐的情況下，內(nèi)套管會(huì)沉到外套管底部，導(dǎo)致上層有較大縫隙，引起氣流場(chǎng)不均勻，不僅浪費(fèi)氣體嚴(yán)重，還會(huì)造成工藝效果不佳，產(chǎn)品返工。而內(nèi)套管底部使用墊塊，但是氣流依然無(wú)法完全從內(nèi)套管進(jìn)入到腔體，工藝效果依然不佳。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于以上所述的現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型目的在于提出一種便于維護(hù)的反應(yīng)爐，用于解決石英爐管易臟污而需頻繁拆卸清理而導(dǎo)致使用壽命短的問(wèn)題，達(dá)到延長(zhǎng)維護(hù)周期，節(jié)約維護(hù)成本與人力成本的效果。同時(shí)，該設(shè)備不會(huì)引起氣流場(chǎng)不均勻而影響工藝效果，同時(shí)拆卸安裝內(nèi)套管更加方便快捷，便于后續(xù)石英爐管的維護(hù)，實(shí)現(xiàn)反應(yīng)爐的高效使用。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種便于維護(hù)的反應(yīng)爐，包括：

爐管，用于放置待處理晶圓和/或托盤(pán)；

爐門(mén)組件，位于所述爐管的至少一端部，將所述爐管與外部連通或隔離；

內(nèi)套管，靠近所述爐門(mén)組件，且至少一部分位于所述爐管內(nèi)部；

供氣系統(tǒng)，與所述爐管相連通，用于向所述爐管內(nèi)通入氣體；

排氣系統(tǒng)，用于將所述爐管內(nèi)氣體排出到外界，

具有隔離物，所述隔離物填充在所述爐管與內(nèi)套管之間，使得所述內(nèi)套管活動(dòng)內(nèi)接于所述爐管。

可選地，所述隔離物為耐腐蝕材料，所述隔離物包繞在所述內(nèi)套管的至少一部分外表面，使得所述內(nèi)套管與所述爐管之間形成密封隔離帶。

可選地，所述隔離物以粘接的形式包繞在所述內(nèi)套管的至少一部分外表面。

可選地，所述內(nèi)套管的數(shù)量為至少一個(gè)。

可選地，所述隔離物包繞于至少一個(gè)內(nèi)套管的至少一部分外表面。

可選地，所述隔離物包繞于最靠近爐門(mén)組件的內(nèi)套管的至少一部分外表面。

可選地，所述隔離物為彈性耐腐蝕材料，包括聚四氟乙烯和氟橡膠材料，其具有很好的柔韌性、彈性、耐高溫性及優(yōu)異的耐腐蝕性。

可選地，所述爐管為石英管，所述內(nèi)套管為石英套管。

可選地，所述內(nèi)套管與所述爐管之間徑向距離為0-5mm。