[實用新型]電子級三氟化氯的收集裝置

有效

• 申請號: 202120298839.3
• 申請日: 2021-02-02
• 公開（公告）號: CN214622507U
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 申黎明;華祥斌;陳施華;華小林;于睿潔;吳強
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 徐東峰

本實用新型提供了一種電子級三氟化氯的收集裝置，包括：內罐(10)，其包括哈氏合金罐體(101)、設置于哈氏合金罐體(101)頂部和底部的進料管(102)以及出料管(103)、以及用于測量哈氏合金罐體(101)內部壓力的壓力傳感器(104)；外套夾層(12)，包括包裹于內罐(10)的不銹鋼外層(120)，以及與不銹鋼外層(120)聯通的惰性氣體通入管道(121)以及惰性氣體出口管道(122)；夾持設置于外套夾層(12)以及內罐(10)之間冷凝組件(11)，其包括冷凝管道(111)以及分別與冷凝管道(111)聯通的進液管道(110)以及出液管道(112)；分析組件以及報警組件，分析組件用于分析惰性氣體中三氟化氯的含量，報警組件用于檢測到三氟化氯時報警。

技術領域

本實用新型涉及一種電子級三氟化氯的收集裝置。

背景技術

目前，三氟化氯是一種氧化性極強的芯片刻蝕清洗劑，它能與大多數有機材料和無機材料甚至金屬材料反應，可以使許多材料發生劇烈燃燒，在某些情況下甚至會爆炸。由于三氟化氯特殊的氧化性，對設備的材質及結構都有嚴苛的要求。國內尚未有收集和儲存電子級三氟化氯的專用設備的相關報道。

實用新型內容

本實用新型提供了一種電子級三氟化氯的收集裝置，可以有效解決上述問題。

本實用新型是這樣實現的：

一種電子級三氟化氯的收集裝置，包括：

內罐，其包括哈氏合金罐體、設置于所述哈氏合金罐體頂部和底部的進料管以及出料管、以及用于測量所述哈氏合金罐體內部壓力的壓力傳感器；

外套夾層，包括包裹于所述內罐的不銹鋼外層，以及與所述不銹鋼外層聯通的惰性氣體通入管道以及惰性氣體出口管道；

夾持設置于所述外套夾層以及所述內罐之間冷凝組件，其包括冷凝管道以及分別與所述冷凝管道聯通的進液管道以及出液管道；

分析組件以及報警組件，所述分析組件用于分析惰性氣體中三氟化氯的含量，所述報警組件用于檢測到三氟化氯時報警。

作為進一步改進的，所述冷凝組件的溫度范圍為-30℃～-50℃。

作為進一步改進的，所述哈氏合金罐體的內表面的表面光潔度Rmax 3 μm。

作為進一步改進的，所述哈氏合金罐體的內表面進一步包括三氟化氯鈍化層以及氟氣鈍化層。

作為進一步改進的，所述收集裝置進一步包括一稱量組件，用于獲取所述三氟化氯的實際存儲量，定義所述哈氏合金罐體的體積為ML，其中，所述三氟化氯的最大存儲量為1.42Mkg。

作為進一步改進的，所述報警組件進一步用于當實際存儲量等于最大存儲量時報警并停止充裝收集三氟化氯。

本實用新型的有益效果是：首先，相較于單層罐體，本實用新型提供的雙層罐體安全性更強；其次，通過在外套夾層中布置冷凝組件，對罐體內層中電子級三氟化氯的收集提供冷源，使之快速的降溫液化形成負壓，存儲于所述收集裝置中；再次，外套夾層中冷凝組件外部循環流動性的惰性氣體，對外套夾層實施氣相密封，可有效的預防三氟化氯泄露帶來的危害，即使泄漏也可以降低三氟化氯的活性；最后，通過分析組件以及報警組件可以實時進行分析和報警，提高安全等級。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施方式的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本實用新型的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1是本實用新型實施例提供的電子級三氟化氯的收集裝置的結構示意圖。

具體實施方式