[實用新型]電子級三氟化氯的收集裝置

有效

• 申請號: 202120298839.3
• 申請日: 2021-02-02
• 公開（公告）號: CN214622507U
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 申黎明;華祥斌;陳施華;華小林;于睿潔;吳強
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 徐東峰

1.一種電子級三氟化氯的收集裝置，其特征在于，包括：

內罐(10)，其包括哈氏合金罐體(101)、設置于所述哈氏合金罐體(101)頂部和底部的進料管(102)以及出料管(103)、以及用于測量所述哈氏合金罐體(101)內部壓力的壓力傳感器(104)；

外套夾層(12)，包括包裹于所述內罐(10)的不銹鋼外層(120)，以及與所述不銹鋼外層(120)聯通的惰性氣體通入管道(121)以及惰性氣體出口管道(122)；

夾持設置于所述外套夾層(12)以及所述內罐(10)之間冷凝組件(11)，其包括冷凝管道(111)以及分別與所述冷凝管道(111)聯通的進液管道(110)以及出液管道(112)；

分析組件以及報警組件，所述分析組件用于分析惰性氣體中三氟化氯的含量，所述報警組件用于檢測到三氟化氯時報警。

2.如權利要求1所述的電子級三氟化氯的收集裝置，其特征在于，所述冷凝組件(11)的溫度范圍為-30℃～-50℃。

3.如權利要求1所述的電子級三氟化氯的收集裝置，其特征在于，所述哈氏合金罐體(101)的內表面的表面光潔度Rmax 3μm。

4.如權利要求3所述的電子級三氟化氯的收集裝置，其特征在于，所述哈氏合金罐體(101)的內表面進一步包括三氟化氯鈍化層以及氟氣鈍化層。

5.如權利要求2所述的電子級三氟化氯的收集裝置，其特征在于，進一步包括一稱量組件，用于獲取所述三氟化氯的實際存儲量，定義所述哈氏合金罐體(101)的體積為ML，其中，所述三氟化氯的最大存儲量為1.42Mkg。

6.如權利要求2所述的電子級三氟化氯的收集裝置，其特征在于，所述報警組件進一步用于當實際存儲量等于最大存儲量時報警并停止充裝收集三氟化氯。