[實用新型]一種插片導向夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202120238426.6 | 申請日: | 2021-01-26 |
| 公開(公告)號: | CN213878057U | 公開(公告)日: | 2021-08-03 |
| 發(fā)明(設計)人: | 不公告發(fā)明人 | 申請(專利權)人: | 宣城睿暉宣晟企業(yè)管理中心合伙企業(yè)(有限合伙) |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦廣成 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 導向 夾具 | ||
本實用新型涉及硅片清洗裝置技術領域,具體涉及一種插片導向夾具。一種插片導向夾具,包括:導向板,用于安裝于花籃的側邊并對花籃的卡槽進行延伸限位,導向板上間隔設有多個導向片,導向片與花籃的卡槽對應;固定件,設置于導向板的相對兩端,用于將導向板安裝于花籃上。本實用新型提供的一種插片導向夾具,利用設于導向板上的導向片對插入硅片支撐桿上的卡槽內的硅片提供導向,保證硅片順利的由一個硅片支撐桿上的卡槽插入另一硅片支撐桿上相對應的卡槽,避免硅片在插入時發(fā)生歪斜,因此,避免了由于硅片的歪斜導致的硅片的摩擦劃傷、崩邊缺角以及相鄰硅片的粘連,不僅降低了硅片的插片不良率,而且提高了插片效率。
技術領域
本實用新型涉及硅片清洗裝置技術領域,具體涉及一種插片導向夾具。
背景技術
太陽能電池是一種直接把光能轉換成電能的半導體器件,光電轉換效率高,主要應用于利用太陽能發(fā)電。花籃作為太陽能電池制造過程中最重要的工裝之一,主要作用是承載著硅片流動于整個太陽能電池制造過程,硅片在工藝過程中不斷在各種裝片盒與裝片花籃之間進行轉換來滿足不同的工藝需求。
在現(xiàn)有技術中,花籃通常包括相對設置的一對側板,以及設于一對側板之間的多根硅片支撐桿,硅片支撐桿上均開設有多個卡槽。正常生產中,通過機械手將硅片放入花籃。但是,在生產過程產生不良品時,需要通過返工去除硅片表面已經(jīng)形成結構,對硅片進行再次利用,使不良產品得到改善。返工時的硅片同樣需要花籃來裝載,但此時只能手動導入指定的返工濕花籃內,一個濕花籃可裝載100片硅片。當將硅片插設于花籃內時,需要將硅片插設于卡槽內,由于沿硅片的插入方向上間隔設置的硅片支撐桿之間為鏤空設置,因此會導致硅片插入時發(fā)生傾斜,出現(xiàn)插錯卡槽位,進而導致硅片的摩擦劃傷、崩邊缺角以及相鄰硅片的粘連。不僅插片效率低,而且由于硅片的傾斜插入會導致硅片不良率較高。
實用新型內容
因此,本實用新型要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有的花籃在插入硅片時插片效率低,且容易發(fā)生歪斜,導致硅片不良率高的缺陷。
為解決上述技術問題,本實用新型提供了一種插片導向夾具,用于花籃的硅片插入導向,所述花籃包括由硅片支撐桿構成的多個間隔設置的卡槽,包括:
導向板,用于安裝于所述花籃的側邊并對所述花籃的卡槽進行延伸限位,所述導向板上間隔設有多個導向片,所述導向片與所述花籃的卡槽對應;
固定件,設置于所述導向板的相對兩端,用于將所述導向板安裝于所述花籃上。
所述固定件為使得所述導向板與所述花籃的端板連接的彈性支撐件。
所述彈性支撐件為滾珠彈簧鎖銷,所述滾珠彈簧鎖銷設有滾珠的一端與所述花籃的端板相抵接。
所述導向板的兩側均設有多個所述滾珠彈簧鎖銷,且多個所述滾珠彈簧鎖銷間隔設置。
所述導向板的長度與構成所述花籃的卡槽的所述硅片支撐桿的長度相適配。
所述導向片的寬度范圍為相鄰兩根所述硅片支撐桿上一對所述卡槽的距離的1/10-1/9。
所述導向板及所述導向片采用聚丙烯材質模具加工成型。
所述導向板背向設有所述導向片一側設有連接板,所述連接板的面積大于所述導向板的面積,且所述連接板位于花籃的外部,所述連接板遠離所述導向板的一側設有把手。
插片導向夾具設有一對,且一對插片導向夾具對稱設置于所述花籃的兩側;相鄰兩所述導向片的間距與所述卡槽的槽寬相適配。
所述導向板包括兩塊或多塊沿所述硅片支撐桿長度方向設置的板體依次鉸接連接而成,所述導向片設置在所述板體上。
本實用新型技術方案,具有如下優(yōu)點:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





