[實用新型]一種插片導向夾具有效
| 申請號: | 202120238426.6 | 申請日: | 2021-01-26 |
| 公開(公告)號: | CN213878057U | 公開(公告)日: | 2021-08-03 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 宣城睿暉宣晟企業管理中心合伙企業(有限合伙) |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦廣成 |
| 地址: | 242074 安徽省宣城市經濟*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 導向 夾具 | ||
1.一種插片導向夾具,用于花籃的硅片插入導向,所述花籃包括由硅片支撐桿構成的多個間隔設置的卡槽,其特征在于,包括:
導向板(1),用于安裝于所述花籃的側邊并對所述花籃的卡槽進行延伸限位,所述導向板(1)上間隔設有多個導向片(2),所述導向片(2)與所述花籃的卡槽對應;
固定件,設置于所述導向板(1)的相對兩端,用于將所述導向板(1)安裝于所述花籃上。
2.根據權利要求1所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述固定件為使得所述導向板(1)與所述花籃的端板連接的彈性支撐件(3)。
3.根據權利要求2所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述彈性支撐件(3)為滾珠彈簧鎖銷,所述滾珠彈簧鎖銷設有滾珠的一端與所述花籃的端板相抵接。
4.根據權利要求3所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述導向板(1)的兩側均設有多個所述滾珠彈簧鎖銷,且多個所述滾珠彈簧鎖銷間隔設置。
5.根據權利要求1-4任一項所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述導向板(1)的長度與所述硅片支撐桿的長度相適配。
6.根據權利要求1-4任一項所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述導向片(2)的寬度范圍為相鄰兩根所述硅片支撐桿上一對所述卡槽的距離的1/10-1/9。
7.根據權利要求1-4任一項所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述導向板(1)及所述導向片(2)采用聚丙烯材質模具加工成型。
8.根據權利要求1-4任一項所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述導向板(1)背向設有所述導向片(2)一側設有連接板(4),所述連接板(4)的面積大于所述導向板(1)的面積,且所述連接板(4)位于花籃的外部,所述連接板(4)遠離所述導向板(1)的一側設有把手(5)。
9.根據權利要求1-4任一項所述的一種插片導向夾具,其特征在于,插片導向夾具設有一對,且一對插片導向夾具對稱設置于所述花籃的兩側;相鄰兩所述導向片(2)的間距與所述卡槽的槽寬相適配。
10.根據權利要求1-4任一項所述的一種插片導向夾具,其特征在于,所述導向板(1)包括兩塊或多塊沿所述硅片支撐桿長度方向設置的板體依次鉸接連接而成,所述導向片(2)設置在所述板體上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





