[實用新型]一種用于半導體制程混合氣體設備

有效

• 申請號: 202120096838.0
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN214319925U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 王迎來
• 申請（專利權）人: 江蘇虎虎機電科技有限公司
• 主分類號: B01F7/30
• 分類號: B01F7/30;B01F15/00
• 代理公司: 無錫科嘉知信專利代理事務所(普通合伙) 32515
• 代理人: 陳穎

本實用新型公開了一種用于半導體制程混合氣體設備，其技術方案要點是：包括混合箱，所述混合箱的右側頂部開設有第一入氣孔，通過將封蓋擰轉下來，將兩種氣體分別從第一入氣孔和第二入氣孔輸送至分流管內，通過分流孔進入混合箱的內部，封閉機構將第一入氣孔和第二入氣孔封閉，啟動電機，電機轉動轉桿外表面的混合板攪拌混合箱內的氣體，使氣體混合的過程更加快速，當攪拌葉碰撞氣體時，會開始通過滾珠軸承轉動，加快兩種氣體的混合，提高了一定的混合效率，通過將封蓋擰轉至入氣管的外表面將入氣管密封，擋板貼合限位圓環，因套筒的和導桿的設立，不會使擋板與限位圓環產生摩擦而導致密封性下降，封蓋和擋板的雙重密封，使密封性更強。

技術領域

本實用新型涉半導體制程設備技術領域，特別涉及一種用于半導體制程混合氣體設備。

背景技術

半導體(semiconductor)，指常溫下導電性能介于導體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連，在半導體制程中常常需要一種設備對氣體混合。

但是現有的混合氣體設備存在著氣體混合的效果不佳，混合效率低的問題，且大部分的混合氣體設備的入氣口處密封性并不強，導致混合氣體容易泄漏。

實用新型內容

針對背景技術中提到的問題，本實用新型的目的是提供一種用于半導體制程混合氣體設備，以解決背景技術中提到的問題。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種用于半導體制程混合氣體設備，包括混合箱，所述混合箱的右側頂部開設有第一入氣孔，所述第一入氣孔的右側固定連接有封閉機構，所述封閉機構包括入氣管，所述入氣管的內部左側固定連接有限位圓環，所述入氣管的外表面右側螺紋連接有封蓋，所述封蓋的左側固定連接有套筒，所述套筒的內部套接有導桿，所述導桿的左側固定連接有擋板，所述混合箱的左側頂部開設有第二入氣孔，所述第二入氣孔的左側固定連接有封閉機構，所述第一入氣孔的左側固定連接有分流管，所述分流管的另一端與第二入氣孔固定連接，所述分流管的底側中部開設分流孔，所述混合箱的內部底側固定連接有電機，所述電機的輸出端固定連接有轉桿，所述轉桿的外表面固定連接有混合板，所述混合板的正面固定連接有支撐桿，所述支撐桿的外表面前端固定連接有滾珠軸承，所述滾珠軸承的外表面固定連接攪拌葉，所述混合箱的左側開設有排氣口，所述排氣口的內部固定連接有電磁閥。

通過采用上述技術方案，通過將封蓋擰轉下來，將兩種氣體分別從第一入氣孔和第二入氣孔輸送至分流管內，通過分流孔進入混合箱的內部，然后將封蓋擰轉至入氣管的外表面將入氣管密封，擋板貼合限位圓環，因套筒的和導桿的設立，不會使擋板與限位圓環產生摩擦而導致密封性下降，封蓋和擋板的雙重密封，使密封性更強，啟動電機，電機轉動轉桿外表面的混合板攪拌混合箱內的氣體，使氣體混合的過程更加快速，當攪拌葉碰撞氣體時，會開始通過滾珠軸承轉動，加快兩種氣體的混合，提高了一定的混合效率。

較佳的，所述分流孔內部固定連接有混合管，所述混合管的內部固定連接有螺旋葉片。

通過采用上述技術方案，兩種氣體進去混合管內后，能在混合管內形成渦流，使兩種氣體混合更均勻。

較佳的，所述混合管的內部底側固定連接有支板，所述支板的頂部開設有通孔。

通過采用上述技術方案，氣體內的分子在碰撞到支板時，會改變分子的運動方向，可以加快兩種氣體分子的混合，提高了混合效率。

較佳的，所述混合管的底部位于轉桿的上端，所述轉桿的頂部為弧形結構。