[實用新型]一種用于半導體制程混合氣體設備

有效

• 申請號: 202120096838.0
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN214319925U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 王迎來
• 申請（專利權）人: 江蘇虎虎機電科技有限公司
• 主分類號: B01F7/30
• 分類號: B01F7/30;B01F15/00
• 代理公司: 無錫科嘉知信專利代理事務所(普通合伙) 32515
• 代理人: 陳穎

1.一種用于半導體制程混合氣體設備，包括混合箱(1)，其特征在于：所述混合箱(1)的右側頂部開設有第一入氣孔(2)，所述第一入氣孔(2)的右側固定連接有封閉機構(3)，所述封閉機構(3)包括入氣管(301)，所述入氣管(301)的內部左側固定連接有限位圓環(302)，所述入氣管(301)的外表面右側螺紋連接有封蓋(303)，所述封蓋(303)的左側固定連接有套筒(304)，所述套筒(304)的內部套接有導桿(305)，所述導桿(305)的左側固定連接有擋板(306)，所述混合箱(1)的左側頂部開設有第二入氣孔(4)，所述第二入氣孔(4)的左側固定連接有封閉機構(3)，所述第一入氣孔(2)的左側固定連接有分流管(5)，所述分流管(5)的另一端與第二入氣孔(4)固定連接，所述分流管(5)的底側中部開設分流孔(6)，所述混合箱(1)的內部底側固定連接有電機(7)，所述電機(7)的輸出端固定連接有轉桿(8)，所述轉桿(8)的外表面固定連接有混合板(9)，所述混合板(9)的正面固定連接有支撐桿(10)，所述支撐桿(10)的外表面前端固定連接有滾珠軸承(11)，所述滾珠軸承(11)的外表面固定連接攪拌葉(12)，所述混合箱(1)的左側開設有排氣口(13)，所述排氣口(13)的內部固定連接有電磁閥(14)。

2.根據權利要求1所述的一種用于半導體制程混合氣體設備，其特征在于：所述分流孔(6)內部固定連接有混合管(15)，所述混合管(15)的內部固定連接有螺旋葉片(16)。

3.根據權利要求2所述的一種用于半導體制程混合氣體設備，其特征在于：所述混合管(15)的內部底側固定連接有支板(17)，所述支板(17)的頂部開設有通孔(18)。

4.根據權利要求2所述的一種用于半導體制程混合氣體設備，其特征在于：所述混合管(15)的底部位于轉桿(8)的上端，所述轉桿(8)的頂部為弧形結構。

5.根據權利要求1所述的一種用于半導體制程混合氣體設備，其特征在于：所述限位圓環(302)的右側開設有卡槽(308)，所述擋板(306)的左側開設有卡塊(307)，所述卡塊(307)與卡槽(308)相對應。

6.根據權利要求1所述的一種用于半導體制程混合氣體設備，其特征在于：所述導桿(305)的右側固定連接有限位塊(309)，所述套筒(304)內部左側的直徑為限位塊(309)直徑的四分之三。

7.根據權利要求6所述的一種用于半導體制程混合氣體設備，其特征在于：所述限位塊(309)的右側固定連接有彈簧(310)，所述彈簧(310)的右側與封蓋(303)貼合連接。