[實(shí)用新型]一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120093522.6
• 申請(qǐng)日: 2021-01-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214894956U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范群波;苑京久;余洪;朱新杰;王朵朵;陳凱;貢海超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N23/22
• 分類號(hào): G01N23/22;G01N23/2204
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 周蜜;楊志兵

本實(shí)用新型涉及一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，屬于材料腐蝕產(chǎn)物分析設(shè)備領(lǐng)域。所述樣品臺(tái)由樣品座和基座組成；其中，樣品座由樣品座貼樣部位、樣品座夾取部位以及樣品座固定頭組成；所述樣品座夾取部位位于樣品座貼樣部位的下方；所述樣品座固定頭位于樣品座夾取部位的下方；所述基座由基座臺(tái)和基座固定頭組成；所述樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，待測(cè)樣品分析無(wú)需鑲樣，簡(jiǎn)化了腐蝕產(chǎn)物層截面試樣繁瑣的制備過(guò)程、解決了分析效率低的問(wèn)題，使用時(shí)便捷高效。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，屬于材料腐蝕產(chǎn)物分析設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

腐蝕產(chǎn)物截面分析是材料腐蝕領(lǐng)域的重要分析手段。通過(guò)腐蝕產(chǎn)物截面形貌、厚度分析可以確定材料腐蝕的類型，如點(diǎn)腐蝕、局部腐蝕等，還可以判定材料腐蝕的程度。

掃描電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱：掃描電鏡)是一種用于腐蝕產(chǎn)物層截面形貌和厚度分析的先進(jìn)電子設(shè)備。掃描電鏡和能譜儀相結(jié)合可以確定各元素在腐蝕產(chǎn)物層中的分布情況，有利于探究材料的腐蝕機(jī)理。

目前在腐蝕產(chǎn)物層截面分析前需要進(jìn)行樣品制備，一般情況下，被測(cè)樣品為片狀，而現(xiàn)有技術(shù)中，掃描電鏡樣品臺(tái)的貼樣部位為平面結(jié)構(gòu)，在觀察被測(cè)樣品的截面時(shí)，片狀的被測(cè)樣品需要以豎直的狀態(tài)被觀察，這樣的話不容易固定，所以，片狀的被測(cè)樣品在檢測(cè)前，需要經(jīng)過(guò)復(fù)雜的制樣過(guò)程，即將腐蝕后的片狀金屬樣品用環(huán)氧樹(shù)脂密封，進(jìn)行鑲樣，鑲樣有利于被測(cè)樣品的固定；但是，鑲樣會(huì)影響被測(cè)樣品的截面，不利于觀察，所以鑲樣完成后，再打磨出截面，再使用導(dǎo)電膠將環(huán)氧樹(shù)脂密封的試樣黏貼在掃描電鏡自帶樣品臺(tái)上；被測(cè)樣品的制備過(guò)程繁瑣，工作效率慢且樣品無(wú)法再進(jìn)行其他檢測(cè)。現(xiàn)有的一些專門(mén)用于截面分析的樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜，加工制備繁雜。因此，提升檢測(cè)效率，同時(shí)設(shè)計(jì)制備加工簡(jiǎn)便的樣品臺(tái)是目前急需解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，所述樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，待測(cè)樣品分析無(wú)需鑲樣，簡(jiǎn)化了腐蝕產(chǎn)物層截面試樣繁瑣的制備過(guò)程、解決了分析效率低的問(wèn)題，使用時(shí)便捷高效。

為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，提供如下技術(shù)方案。

一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，所述樣品臺(tái)由樣品座和基座組成；

其中，樣品座由樣品座貼樣部位、樣品座夾取部位以及樣品座固定頭組成；所述樣品座夾取部位位于樣品座貼樣部位的下方；所述樣品座固定頭位于樣品座夾取部位的下方。

所述樣品座是一體化結(jié)構(gòu)，即樣品座使用時(shí)無(wú)需將樣品座貼樣部位、樣品座夾取部位以及樣品座固定頭再進(jìn)行組裝。

所述樣品座貼樣部位具有4個(gè)垂直面，以用于黏貼待測(cè)試樣。

優(yōu)選，所述樣品座貼樣部位為長(zhǎng)方體。

所述樣品座夾取部位是用于夾取樣品座的部位。

優(yōu)選，所述樣品座夾取部位為中間帶一環(huán)形凹槽的圓柱體。

所述樣品座固定頭通過(guò)與基座臺(tái)分布的固定孔配合使用，以將樣品座與基座連接。

優(yōu)選，所述樣品座固定頭的底端為圓錐形。

所述基座由基座臺(tái)和基座固定頭組成。

所述基座臺(tái)上分布若干個(gè)固定孔，固定孔的設(shè)置滿足基座臺(tái)上所有的固定孔可以同時(shí)放置樣品座。

優(yōu)選，基座臺(tái)上設(shè)置一個(gè)中心固定孔，中心固定孔外圍設(shè)置若干固定孔，外圍相鄰固定孔間的距離相等，且外圍每個(gè)固定孔與中心固定孔間距相等。

所述固定孔為直徑相同的通孔。

所述基座固定頭位于基座臺(tái)下方。