[實(shí)用新型]一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202120093522.6
• 申請(qǐng)日: 2021-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN214894956U
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范群波;苑京久;余洪;朱新杰;王朵朵;陳凱;貢海超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N23/22
• 分類號(hào): G01N23/22;G01N23/2204
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 周蜜;楊志兵

1.一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品臺(tái)由樣品座和基座組成；

樣品座為一體化結(jié)構(gòu)，由樣品座貼樣部位(1)、樣品座夾取部位(2)以及樣品座固定頭(3)組成；所述樣品座夾取部位(2)位于樣品座貼樣部位(1)的下方；所述樣品座固定頭(3)位于樣品座夾取部位(2)的下方；

所述樣品座貼樣部位(1)具有4個(gè)垂直面；

所述樣品座夾取部位(2)用于夾取樣品座的部位；

所述基座由基座臺(tái)(5)和基座固定頭(6)組成；

所述基座臺(tái)(5)上分布若干個(gè)固定孔(4)，所述樣品座固定頭(3)通過與固定孔(4)配合使用，將樣品座與基座連接；

所有的固定孔(4)可以同時(shí)放置樣品座；

所述固定孔(4)為直徑相同的通孔；

所述基座固定頭(6)位于基座臺(tái)(5)下方，將所述樣品臺(tái)固定安裝于掃描電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品座貼樣部位(1)為長(zhǎng)方體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品座夾取部位(2)為中間帶一環(huán)形凹槽的圓柱體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品座固定頭(3)的底端為圓錐形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：基座臺(tái)(5)上設(shè)置一個(gè)中心固定孔(4)，中心固定孔(4)外圍設(shè)置若干固定孔(4)，外圍相鄰固定孔(4)間的距離相等，且外圍每個(gè)固定孔(4)與中心固定孔(4)間距相等。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分析試樣表面腐蝕產(chǎn)物截面的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品座貼樣部位(1)為長(zhǎng)方體；

所述樣品座夾取部位(2)為中間帶一環(huán)形凹槽的圓柱體；

所述樣品座固定頭(3)的底端為圓錐形；

基座臺(tái)(5)上設(shè)置一個(gè)中心固定孔(4)，中心固定孔(4)外圍設(shè)置若干固定孔(4)，外圍相鄰固定孔(4)間的距離相等，且外圍每個(gè)固定孔(4)與中心固定孔(4)間距相等。