[實用新型]一種主腔防松抓取裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202120053912.0 | 申請日： | 2021-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN214114736U | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周林偉;沈浩鋒;周杰;姚依笛;王謨;朱偉忠 | 申請（專利權(quán)）人： | 天通吉成機器技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | B66C25/00 | 分類號： | B66C25/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 張欣然 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 主腔防松 抓取 裝置 | ||
本實用新型公開一種主腔防松抓取裝置，包括至少三根支撐臂，因此與主腔之間至少具有三個接觸位置；支撐臂的內(nèi)聚端相對固定為一體，支撐臂的外伸端設(shè)置掛鉤，掛鉤能夠相對于支撐臂轉(zhuǎn)動；掛鉤的重心偏心設(shè)置，使掛鉤具有朝向主腔轉(zhuǎn)動的趨勢；掛鉤能夠與主腔外周凸出的法蘭盤鉤掛，由于掛鉤的重心偏心設(shè)置，可以有效地防止脫鉤現(xiàn)象；掛鉤與支撐臂之間設(shè)置開閉驅(qū)動裝置，開閉驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動掛鉤轉(zhuǎn)動張開和閉合，通過開閉驅(qū)動裝置使掛鉤轉(zhuǎn)動；本實用新型采用三點支撐，并利用掛鉤重心偏置設(shè)置的形式，共同確保了與主室的穩(wěn)定鉤掛，即使開閉驅(qū)動裝置失效也不影響鉤掛鎖定的效果。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，更進(jìn)一步涉及一種主腔防松抓取裝置。
背景技術(shù)
主腔重量高達(dá)一噸左右，只能采用機械提升機構(gòu)來起吊，目前市場中大部分主腔抓取機構(gòu)采用的是兩點式機械式手動操作機構(gòu)，通過兩個掛鉤鉤住主腔，現(xiàn)有的鎖定方式是在兩個掛鉤之間設(shè)置連桿，容易造成脫鉤現(xiàn)象，造成生產(chǎn)事故。
目前市場上采取的兩點式手動操作機構(gòu)，起吊穩(wěn)定性差，操作笨重，需要二到三人協(xié)作，操作位又在熱場正上方，在操作過程中，熱場有余溫，存在一定風(fēng)險。
對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，如何確保主腔提升時鉤掛的穩(wěn)定性，是目前需要解決的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
本實用新型提供一種主腔防松抓取裝置，提高鉤掛的穩(wěn)定性，操作更加簡便，具體方案如下：
一種主腔防松抓取裝置，包括至少三根支撐臂，所述支撐臂的內(nèi)聚端相對固定為一體，所述支撐臂的外伸端設(shè)置掛鉤，所述掛鉤能夠相對于所述支撐臂轉(zhuǎn)動；所述掛鉤的重心偏心設(shè)置，使所述掛鉤具有朝向主腔轉(zhuǎn)動的趨勢；所述掛鉤能夠與主腔外周凸出的法蘭盤鉤掛；
所述掛鉤與所述支撐臂之間設(shè)置開閉驅(qū)動裝置，所述開閉驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述掛鉤轉(zhuǎn)動張開和閉合。
可選地，所述開閉驅(qū)動裝置為可伸縮的氣缸。
可選地，所述支撐臂上安裝底座，所述底座能夠相對于所述支撐臂橫向及縱向調(diào)節(jié)位置；
所述掛鉤轉(zhuǎn)動連接于所述底座。
可選地，所述掛鉤和所述底座連接的轉(zhuǎn)軸處設(shè)置扭簧，所述扭簧對所述掛鉤施加朝向主腔轉(zhuǎn)動的扭矩。
可選地，主腔外周設(shè)置的法蘭盤上設(shè)置搭扣連接塊，所述搭扣連接塊具有限定所述掛鉤端部橫向位移的凹槽。
可選地，所述掛鉤包括主鉤體和加強板；所述主鉤體為板狀彎折180度的彎鉤，所述加強板垂直于所述主鉤體靠外的一側(cè)；所述加強板與所述開閉驅(qū)動裝置鉸接。
本實用新型提供一種主腔防松抓取裝置，包括至少三根支撐臂，因此與主腔之間至少具有三個接觸位置；支撐臂的內(nèi)聚端相對固定為一體，支撐臂的外伸端設(shè)置掛鉤，掛鉤能夠相對于支撐臂轉(zhuǎn)動；掛鉤的重心偏心設(shè)置，使掛鉤具有朝向主腔轉(zhuǎn)動的趨勢；掛鉤能夠與主腔外周凸出的法蘭盤鉤掛，由于掛鉤的重心偏心設(shè)置，可以有效地防止脫鉤現(xiàn)象；掛鉤與支撐臂之間設(shè)置開閉驅(qū)動裝置，開閉驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動掛鉤轉(zhuǎn)動張開和閉合，通過開閉驅(qū)動裝置使掛鉤轉(zhuǎn)動；本實用新型采用三點支撐，并利用掛鉤重心偏置設(shè)置的形式，共同確保了與主室的穩(wěn)定鉤掛，即使開閉驅(qū)動裝置失效也不影響鉤掛鎖定的效果。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實用新型的主腔防松抓取裝置與主腔配合的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為掛鉤處的局部剖面示意圖。
圖中包括：
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