[實用新型]一種用于硅片清洗的花籃

有效

• 申請號: 202120046509.5
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN214336688U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 祝凱
• 申請（專利權）人: 開化晶芯電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 虞乘乘

本實用新型涉及硅片清洗技術領域，且公開了一種用于硅片清洗的花籃，包括兩個基板，兩個所述基板之間設有底板，所述底板兩端分別與兩個基板邊緣固定連接，兩個所述基板之間還設有兩個對稱分布的粗方管，所述粗方管上設置有四個槽扣組，所述槽扣組包括多個均勻分布的限位槽扣，所述限位槽扣固定連接在粗方管上，所述粗方管兩端分別與兩個基板活動連接，所述粗方管一端開設有第一限位孔。該用于硅片清洗的花籃，通過在粗方管上設置四組尺寸不同的限位槽扣，拉動圓板可以移動插桿，進而可轉動粗方管更換限位槽扣，然后松開圓板使插桿重新與粗方管卡合，以此根據不同的硅片厚度進行調節，適用性較強。

技術領域

本實用新型涉及硅片清洗技術領域，具體為一種用于硅片清洗的花籃。

背景技術

硅片在生產中需要對表面進行物理和化學清洗，主要用于清理硅片表面的雜質，保證硅片質量，在硅片清洗時需要將硅片放置在花籃內，通過機器將花籃放置在清洗池內。

目前的硅片清洗花籃一般為一體化成型式，在花籃上設置有均勻分布的凹槽或擋板，用于均勻分隔不同的硅片，但是由于不同規格硅片的厚度不同，而常見花籃上的凹槽寬度或者擋板間距一定，較薄的硅片放置在內部傾斜幅度大，并且容易晃動，影響硅片清洗，還易導致硅片損壞。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種用于硅片清洗的花籃，具備適用性強，便于維護等優點，解決了目前的花籃上的凹槽寬度或者擋板間距一定，較薄的硅片放置時傾角大并且容易晃動，影響清洗和安全的問題。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于硅片清洗的花籃，包括兩個基板，兩個所述基板之間設有底板，所述底板兩端分別與兩個基板邊緣固定連接，兩個所述基板之間還設有兩個對稱分布的粗方管，所述粗方管上設置有四個槽扣組，所述槽扣組包括多個均勻分布的限位槽扣，所述限位槽扣固定連接在粗方管上，所述粗方管兩端分別與兩個基板活動連接，所述粗方管一端開設有第一限位孔，所述基板側面靠近粗方管處設置有限位裝置。

優選的，所述限位裝置包括套環，所述套環與基板固定連接，所述套環內設有插桿，所述插桿一端延伸至第一限位孔內，所述插桿另一端固定連接有圓板，所述圓板與套環之間設有彈簧，所述彈簧套接在插桿上，所述彈簧兩端分別與圓板和套環固定連接。

優選的，所述粗方管一側設置有轉軸，所述轉軸上固定連接有清理刷，所述轉軸兩端分別與兩個基板活動連接，所述轉軸一端還固定連接有第一齒輪。

優選的，所述粗方管遠離第一限位孔一端固定套接有第二齒輪，所述第二齒輪與第一齒輪之間設有短軸，所述轉軸端部與基板活動連接，所述轉軸上固定連接有第三齒輪，所述第三齒輪與第一齒輪以及第二齒輪均嚙合。

優選的，所述粗方管遠離第一限位孔一端固定連接有細方管，所述細方管上開設有第二限位孔。

優選的，兩個所述基板邊緣均固定連接有安裝板，所述安裝板上開設有安裝孔。

與現有技術相比，本實用新型提供了一種用于硅片清洗的花籃，具備以下有益效果：

1、該用于硅片清洗的花籃，通過在粗方管上設置四組尺寸不同的限位槽扣，拉動圓板可以移動插桿，進而可轉動粗方管更換限位槽扣，然后松開圓板使插桿重新與粗方管卡合，以此根據不同的硅片厚度進行調節，適用性較強。

2、該用于硅片清洗的花籃，通過拉動圓板可以移動插桿，此時轉動粗方管可以帶動第二齒輪轉動，進而可以帶動轉軸和清理刷轉動，清理刷與限位槽扣相互轉動可以實現對限位槽扣內壁的清理，便于維護。

3、該用于硅片清洗的花籃，通過拉動圓板可以移動插桿，可將另一花籃的細方管插入粗方管端部內，然后重新松開插桿可以貫穿第二限位孔和第一限位孔，有利于實現兩個花籃之間的連接，有利于同時清洗更多的硅片。