[實用新型]一種用于硅片清洗的花籃

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202120046509.5
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN214336688U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 祝凱
• 申請（專利權(quán)）人: 開化晶芯電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 虞乘乘

1.一種用于硅片清洗的花籃，包括兩個基板(1)，其特征在于：兩個所述基板(1)之間設(shè)有底板(2)，所述底板(2)兩端分別與兩個基板(1)邊緣固定連接，兩個所述基板(1)之間還設(shè)有兩個對稱分布的粗方管(3)，所述粗方管(3)上設(shè)置有四個槽扣組，所述槽扣組包括多個均勻分布的限位槽扣(4)，所述限位槽扣(4)固定連接在粗方管(3)上，所述粗方管(3)兩端分別與兩個基板(1)活動連接，所述粗方管(3)一端開設(shè)有第一限位孔(5)，所述基板(1)側(cè)面靠近粗方管(3)處設(shè)置有限位裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的花籃，其特征在于：所述限位裝置包括套環(huán)(6)，所述套環(huán)(6)與基板(1)固定連接，所述套環(huán)(6)內(nèi)設(shè)有插桿(7)，所述插桿(7)一端延伸至第一限位孔(5)內(nèi)，所述插桿(7)另一端固定連接有圓板(8)，所述圓板(8)與套環(huán)(6)之間設(shè)有彈簧(9)，所述彈簧(9)套接在插桿(7)上，所述彈簧(9)兩端分別與圓板(8)和套環(huán)(6)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的花籃，其特征在于：所述粗方管(3)一側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)軸(10)，所述轉(zhuǎn)軸(10)上固定連接有清理刷(11)，所述轉(zhuǎn)軸(10)兩端分別與兩個基板(1)活動連接，所述轉(zhuǎn)軸(10)一端還固定連接有第一齒輪(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于硅片清洗的花籃，其特征在于：所述粗方管(3)遠離第一限位孔(5)一端固定套接有第二齒輪(13)，所述第二齒輪(13)與第一齒輪(12)之間設(shè)有短軸(14)，所述轉(zhuǎn)軸(10)端部與基板(1)活動連接，所述轉(zhuǎn)軸(10)上固定連接有第三齒輪(15)，所述第三齒輪(15)與第一齒輪(12)以及第二齒輪(13)均嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的花籃，其特征在于：所述粗方管(3)遠離第一限位孔(5)一端固定連接有細方管(16)，所述細方管(16)上開設(shè)有第二限位孔(17)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的花籃，其特征在于：兩個所述基板(1)邊緣均固定連接有安裝板(18)，所述安裝板(18)上開設(shè)有安裝孔。