[實用新型]光刻鏡頭光斑融合微調裝置及無掩膜數字直接成像設備

有效

• 申請號: 202120042159.5
• 申請日: 2021-01-07
• 公開（公告）號: CN214623147U
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 溫偉華
• 申請（專利權）人: 廣東臺名智能設備有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 44327
• 代理人: 楊連華

本實用新型公開了無掩膜數字直接成像設備，包括基座，基座上設有可沿水平方向移動的移動臂，移動臂上設有多個隨其移動的鏡頭，移動臂和鏡頭上設有使鏡頭在豎直面擺動的微調機構。通過微調機構可實現鏡頭在豎直面上的角度調節，實現多個鏡頭相互間光刻位置的調整，避免光刻位置融合或光刻覆蓋不到的問題，提高光刻質量。

【技術領域】

本申請涉及光耦合、集成電路、印制電路板自動化設備技術領域，尤其涉及光刻鏡頭光斑融合微調裝置及無掩膜數字直接成像設備。

【背景技術】

無掩膜數字直接成像設備，是一種通過DMD技術，利用LEDUV光波通過DLP技術進行線印制板間的圖像轉移設備，印制線路板的質量、精度很大程度上取決于光刻的質量。現有的無掩膜數字直接成像設備上設有多個位置固定不變的鏡頭，若鏡頭初始安裝不到位或使用過程中出現了移位，后續光刻時將出現光刻位置融合重疊或光刻不到的問題，影響圖像轉移的質量。

【實用新型內容】

本實用新型針對現有的無掩膜數字直接成像設備上的鏡頭不可調節，容易出現光刻位置融合或光刻不到的問題作出改進，提供光刻鏡頭光斑融合微調裝置，包括可水平移動的移動臂和設于所述移動臂上的鏡頭，所述移動臂和所述鏡頭上設有使所述鏡頭在豎直面角度擺動的微調機構。

作為上述光刻鏡頭光斑融合微調裝置的一種改進，所述微調機構包括設置在所述移動臂上的上基準平面板和設置在所述鏡頭上與所述上基準平面板在豎直面上間隔設置的下基準平面板，還包括多個活動連接在所述上基準平面板和所述下基準平面板上的調節固定桿，多個所述調節固定桿沿所述上基準平面板的周側間隔分布。

作為上述光刻鏡頭光斑融合微調裝置的一種改進，所述調節固定桿分別與所述上基準平面板和所述下基準平面板螺紋連接。

作為上述光刻鏡頭光斑融合微調裝置的一種改進，所述調節固定桿上螺紋連接有鎖緊螺帽，所述鎖緊螺帽貼合在所述上基準平面板的上側面。

作為上述光刻鏡頭光斑融合微調裝置的一種改進，所述調節固定桿上設有位于其與所述鎖緊螺帽之間的墊片。

作為上述光刻鏡頭光斑融合微調裝置的一種改進，所述上基準平面板和所述下基準平面板均為金屬。

本實用新型針對現有的無掩膜數字直接成像設備上的鏡頭不可調節，容易出現光刻位置融合或光刻不到位的問題作出改進，提供無掩膜數字直接成像設備，包括基座，所述基座上設有如上所述的光刻鏡頭光斑融合微調裝置。

與現有技術相比，本實用新型具有如下優點：

本實用新型提供了無掩膜數字直接成像設備，包括基座，基座上設有移動臂，移動臂上設有多個鏡頭，通過設置在移動臂和鏡頭上的微調機構實現鏡頭在豎直面上的擺動，實現鏡頭的角度調節，避免多個鏡頭相互間光刻位置的融合或光刻覆蓋不到的問題，提高光刻質量。

【附圖說明】

為了更清楚地說明本申請實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本申請光刻鏡頭光斑融合微調裝置的立體圖；

圖2為圖1中A處的局部放大圖。

【具體實施方式】

為了使本申請所解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本申請進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本申請，并不用于限定本申請。

如圖1-2所示的無掩膜數字直接成像設備，包括基座，所述基座上設有可沿水平方向移動的移動臂1，所述移動臂1上設有多個隨其移動的鏡頭2，所述移動臂1和所述鏡頭2上設有使所述鏡頭2在豎直面擺動的微調機構3。通過所述微調機構3可實現所述鏡頭2在豎直面上的角度調節，實現多個所述鏡頭2相互間光刻位置的調整，避免光刻位置融合或光刻覆蓋不到的問題，提高光刻質量。