[實用新型]光刻鏡頭光斑融合微調裝置及無掩膜數字直接成像設備有效
| 申請號： | 202120042159.5 | 申請日： | 2021-01-07 |
| 公開（公告）號： | CN214623147U | 公開（公告）日： | 2021-11-05 |
| 發明（設計）人： | 溫偉華 | 申請（專利權）人： | 廣東臺名智能設備有限公司 |
| 主分類號： | G02B7/00 | 分類號： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 楊連華 |
| 地址： | 523000 廣東省東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 鏡頭 光斑 融合 微調 裝置 無掩膜 數字 直接 成像 設備 | ||
1.光刻鏡頭光斑融合微調裝置，包括可水平移動的移動臂(1)和設于所述移動臂(1)上的鏡頭(2)，其特征在于，所述移動臂(1)和所述鏡頭(2)上設有使所述鏡頭(2)在豎直面擺動的微調機構(3)，所述微調機構(3)包括設置在所述移動臂(1)上的上基準平面板(31)和設置在所述鏡頭(2)上與所述上基準平面板(31)在豎直面上間隔設置的下基準平面板(32)，還包括多個活動連接在所述上基準平面板(31)和所述下基準平面板(32)上的調節固定桿(33)，多個所述調節固定桿(33)沿所述上基準平面板(31)的周側間隔分布。
2.根據權利要求1所述的光刻鏡頭光斑融合微調裝置，其特征在于，所述調節固定桿(33)分別與所述上基準平面板(31)和所述下基準平面板(32)內外螺紋連接。
3.根據權利要求2所述的光刻鏡頭光斑融合微調裝置，其特征在于，所述調節固定桿(33)上螺紋連接有鎖緊螺帽(4)，所述鎖緊螺帽(4)貼合在所述上基準平面板(31)的上面。
4.根據權利要求3所述的光刻鏡頭光斑融合微調裝置，其特征在于，所述調節固定桿(33)上設有位于其與所述鎖緊螺帽(4)之間的墊片(5)。
5.根據權利要求1所述的光刻鏡頭光斑融合微調裝置，其特征在于，所述上基準平面板(31)和所述下基準平面板(32)均為金屬。
6.無掩膜數字直接成像設備，其特征在于，包括基座，所述基座上設有如權利要求1-5中任一項所述的光刻鏡頭光斑融合微調裝置。
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