[發明專利]紫外燈預處理方法、預處理裝置以及紫外燈固化工藝系統

在審

• 申請號: 202111662037.7
• 申請日: 2021-12-30
• 公開（公告）號: CN114300341A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 湯雨竹;藤天嬌
• 申請（專利權）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/67;C23C16/56
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 陜芳芳

本申請公開一種紫外燈預處理方法、處理裝置以及紫外燈固化工藝系統，設定紫外燈光強的預設波動范圍，并檢測所述紫外燈的光強，當所述紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設波動范圍內，則警示紫外燈預處理完畢。本申請在進行紫外線固化工藝之前，預先對紫外燈進行預處理，使其波動范圍穩定后再進行紫外線固化工藝，從而提高工藝性能的穩定性，減少對致孔劑去除、氧化物網格交聯作用的不利影響。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，具體涉及一種紫外燈預處理方法、預處理裝置以及紫外燈固化工藝系統。

背景技術

在化學氣相沉積工藝中，會使用紫外線固化工藝作為后處理工藝，以處理沉積形成的低介電常數薄膜，具體是通過紫外線固化將薄膜中致孔劑去除，以獲得超低介電常K。但實際處理過程中，會出現致孔劑去除效果欠佳、氧化物網格交聯作用受到不良影響等問題。

發明內容

本申請實施例提供一種紫外燈預處理方法，設定紫外燈光強的預設波動范圍，并檢測所述紫外燈的光強，當所述紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設波動范圍內，則警示紫外燈預處理完畢。

在一種具體方式中，當紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設波動范圍內，則控制所述紫外燈關閉。

在一種具體方式中，控制紫外燈按照反復多次開、關，并檢測所述紫外燈的光強。

在一種具體方式中，所述紫外燈設置在工作位置，所述紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設范圍內后，直接進行所述紫外燈的使用；或者，所述紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設范圍內后，將所述紫外燈安裝到所述工作位置進行使用。

本申請還提供一種紫外燈預處理裝置，包括檢測組件、警示裝置以及控制模塊，所述控制模塊設定所述紫外燈光強的預設波動范圍，所述檢測組件用于檢測所述紫外燈的光強并傳輸至所述控制模塊，所述控制模塊根據檢測的光強判斷所述紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設波動范圍內，則控制所述警示裝置輸出警示信號。

在一種具體方式中，還包括控制所述紫外燈開、關的開關裝置，所述控制模塊判斷所述紫外燈的光強的波動范圍處于所述預設波動范圍內，則控制所述開關裝置關閉。

在一種具體方式中，還包括定時開關裝置，所述定時開關裝置控制所述紫外燈反復多次開、關，所述檢測組件檢測反復多次開、關過程中所述紫外燈的光強。

在一種具體方式中，所述紫外燈預處理裝置包括燈罩，所述紫外燈設置在所述燈罩內部，所述紫外燈預處理裝置還包括設置在所述燈罩下方的箱體，所述燈罩的下端開口與所述箱體相通，或所述燈罩與所述箱體之間設置透明隔板，所述檢測組件設于所述箱體內。

本申請還提供一種紫外燈固化工藝系統，包括第一腔體結構和第二腔體結構，所述第一腔體結構內設有紫外燈，所述第二腔體結構內用于裝載待處理部件，所述紫外燈用于照射所述待處理部件，還包括上述任一項所述的紫外燈預處理裝置，且所述紫外燈預處理裝置的所述檢測組件設置在所述第二腔體結構內。

本申請實施例中，在進行紫外線固化工藝之前，預先對紫外燈進行預處理，使其波動范圍穩定后再進行紫外線固化工藝，從而提高工藝性能的穩定性，減少對致孔劑去除、氧化物網格交聯作用的不利影響。

附圖說明

圖1為本申請第一實施例中紫外燈預處理裝置的示意圖；

圖2為本申請第一實施例中紫外燈預處理方法的流程圖；

圖3為本申請第二實施例中紫外燈固化工藝系統的結構示意圖；

圖4為本申請第二實施例中紫外燈預處理方法的流程圖；

圖5為本申請第三實施例中紫外燈固化工藝系統的結構示意圖；

圖6為本申請第三實施例中紫外燈預處理方法的流程圖。