[發(fā)明專利]紫外燈預(yù)處理方法、預(yù)處理裝置以及紫外燈固化工藝系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111662037.7
• 申請(qǐng)日: 2021-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN114300341A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯雨竹;藤天嬌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67;C23C16/56
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 陜芳芳

1.紫外燈預(yù)處理方法，其特征在于，設(shè)定紫外燈光強(qiáng)的預(yù)設(shè)波動(dòng)范圍，并檢測(cè)所述紫外燈的光強(qiáng)，當(dāng)所述紫外燈的光強(qiáng)的波動(dòng)范圍處于所述預(yù)設(shè)波動(dòng)范圍內(nèi)，則警示紫外燈預(yù)處理完畢。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外燈預(yù)處理方法，其特征在于，當(dāng)紫外燈的光強(qiáng)的波動(dòng)范圍處于所述預(yù)設(shè)波動(dòng)范圍內(nèi)，則控制所述紫外燈關(guān)閉。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外燈預(yù)處理方法，其特征在于，控制紫外燈按照反復(fù)多次開、關(guān)，并檢測(cè)所述紫外燈的光強(qiáng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的紫外燈預(yù)處理方法，其特征在于，所述紫外燈設(shè)置在工作位置，所述紫外燈的光強(qiáng)的波動(dòng)范圍處于所述預(yù)設(shè)范圍內(nèi)后，直接進(jìn)行所述紫外燈的使用；或者，所述紫外燈的光強(qiáng)的波動(dòng)范圍處于所述預(yù)設(shè)范圍內(nèi)后，將所述紫外燈安裝到所述工作位置進(jìn)行使用。

5.紫外燈預(yù)處理裝置，其特征在于，包括檢測(cè)組件、警示裝置以及控制模塊，所述控制模塊設(shè)定所述紫外燈光強(qiáng)的預(yù)設(shè)波動(dòng)范圍，所述檢測(cè)組件用于檢測(cè)所述紫外燈的光強(qiáng)并傳輸至所述控制模塊，所述控制模塊根據(jù)檢測(cè)的光強(qiáng)判斷所述紫外燈的光強(qiáng)的波動(dòng)范圍處于所述預(yù)設(shè)波動(dòng)范圍內(nèi)，則控制所述警示裝置輸出警示信號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外燈預(yù)處理裝置，其特征在于，還包括控制所述紫外燈開、關(guān)的開關(guān)裝置，所述控制模塊判斷所述紫外燈的光強(qiáng)的波動(dòng)范圍處于所述預(yù)設(shè)波動(dòng)范圍內(nèi)，則控制所述開關(guān)裝置關(guān)閉。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外燈預(yù)處理裝置，其特征在于，還包括定時(shí)開關(guān)裝置，所述定時(shí)開關(guān)裝置控制所述紫外燈反復(fù)多次開、關(guān)，所述檢測(cè)組件檢測(cè)反復(fù)多次開、關(guān)過程中所述紫外燈的光強(qiáng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外燈預(yù)處理裝置，其特征在于，所述紫外燈預(yù)處理裝置包括燈罩，所述紫外燈設(shè)置在所述燈罩內(nèi)部，所述紫外燈預(yù)處理裝置還包括設(shè)置在所述燈罩下方的箱體，所述燈罩的下端開口與所述箱體相通，或所述燈罩與所述箱體之間設(shè)置透明隔板，所述檢測(cè)組件設(shè)于所述箱體內(nèi)。

9.紫外燈固化工藝系統(tǒng)，包括第一腔體結(jié)構(gòu)和第二腔體結(jié)構(gòu)，所述第一腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有紫外燈，所述第二腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)用于裝載待處理部件，所述紫外燈用于照射所述待處理部件，其特征在于，還包括權(quán)利要求5-8任一項(xiàng)所述的紫外燈預(yù)處理裝置，且所述紫外燈預(yù)處理裝置的所述檢測(cè)組件設(shè)置在所述第二腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)。