[發(fā)明專(zhuān)利]一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111657798.3
• 申請(qǐng)日: 2021-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114310509A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁永
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州諾富微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B5/04
• 分類(lèi)號(hào): B24B5/04;B24B5/36;B24B5/50;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了砷化鎵生產(chǎn)加工技術(shù)領(lǐng)域的一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，包括工作臺(tái)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述工作臺(tái)表面開(kāi)設(shè)有放置砷化鎵晶柱的凹槽，所述凹槽的底部為弧形，所述凹槽的底部滑動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)推桿；本發(fā)明在工作前，通過(guò)砷化鎵晶柱厚度的不同來(lái)間接調(diào)節(jié)打磨輥右端的位置，從而來(lái)調(diào)節(jié)打磨輥所能打磨的最大圓直徑，有利于根據(jù)砷化鎵晶柱厚度的不同來(lái)確定打磨的最大圓柱的晶柱，從而減少多余的打磨，避免浪費(fèi)；連接球與其上的十字環(huán)形槽可以滿(mǎn)足打磨輥與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間的角度調(diào)節(jié)，有利于在打磨輥的右端進(jìn)行抬起時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪依然能對(duì)打磨輥提供穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)力，避免卡死或驅(qū)動(dòng)力不穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及砷化鎵生產(chǎn)加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置。

背景技術(shù)

砷化鎵是一種重要的半導(dǎo)體材料，砷化鎵可以制成電阻率比硅、鍺高3個(gè)數(shù)量級(jí)以上的半絕緣高阻材料，用來(lái)制作集成電路襯底、紅外探測(cè)器、γ光子探測(cè)器等；在利用水平法進(jìn)行制造砷化鎵時(shí)，制成的砷化鎵晶柱截面為獨(dú)特的“D”形，在對(duì)晶柱進(jìn)行切割前需要將晶柱進(jìn)行打磨成圓形。

現(xiàn)有技術(shù)在對(duì)水平法制成的砷化鎵晶柱進(jìn)行打磨時(shí)，一般是直接對(duì)砷化鎵晶柱進(jìn)行統(tǒng)一的打磨，然而水平法制成的晶柱的厚度并不相同，進(jìn)行統(tǒng)一的打磨會(huì)使較厚的晶柱打磨的較多，造成浪費(fèi)，不能打磨出晶柱截面所能打磨出的最大圓，而較薄的晶柱部分不能被完全打磨，導(dǎo)致晶柱不能被打磨成完全的圓形，需要進(jìn)行二次打磨。

基于此，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，以解決上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出了現(xiàn)有技術(shù)在對(duì)水平法制成的砷化鎵晶柱進(jìn)行打磨時(shí)，一般是直接對(duì)砷化鎵晶柱進(jìn)行統(tǒng)一的打磨，然而水平法制成的晶柱的厚度并不相同，進(jìn)行統(tǒng)一的打磨會(huì)使較厚的晶柱打磨的較多，造成浪費(fèi)，不能打磨出晶柱截面所能打磨出的最大圓，而較薄的晶柱部分不能被完全打磨，導(dǎo)致晶柱不能被打磨成完全的圓形，需要進(jìn)行二次打磨的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，包括工作臺(tái)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述工作臺(tái)表面開(kāi)設(shè)有放置砷化鎵晶柱的凹槽，所述凹槽的底部為弧形，所述凹槽的底部滑動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)推桿，所述驅(qū)動(dòng)推桿左端有部分凸起并且其左端位于砷化鎵晶柱的左側(cè)，所述凹槽的上方設(shè)有壓蓋，所述壓蓋可以將砷化鎵的上端蓋住，所述壓蓋的上端右側(cè)固定連接有頂動(dòng)塊，所述頂動(dòng)塊的右側(cè)為斜面，所述工作臺(tái)表面對(duì)應(yīng)壓蓋的兩側(cè)位置均固定連接有限位板，所述工作臺(tái)的右側(cè)底部固定連接有輔助臺(tái)，所述輔助臺(tái)上端上下滑動(dòng)連接有支撐架，所述支撐架的上端固定連接有打磨筒，所述打磨筒的左端固定連接有內(nèi)齒環(huán)，所述內(nèi)齒環(huán)右側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有外齒環(huán)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定連接在內(nèi)齒環(huán)的左側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)軸貫穿內(nèi)齒環(huán)后固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪，所述驅(qū)動(dòng)齒輪與外齒環(huán)嚙合，所述外齒環(huán)表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有三個(gè)等距排列的轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，三個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪均與內(nèi)齒環(huán)嚙合并且三個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸貫穿外齒環(huán)，三個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸右端均設(shè)有球鉸鏈機(jī)構(gòu)，三個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸均通過(guò)球鉸鏈機(jī)構(gòu)連接有打磨輥，所述打磨輥斜向布置并且其底部為圓弧形，所述打磨輥的尾端固定連接有軸承，所述軸承表面固定連接有可伸縮的弧形拉板，所述弧形拉板的頂部貫穿打磨筒，所述打磨筒對(duì)應(yīng)弧形拉板位置開(kāi)設(shè)有通槽，所述通槽將打磨筒分為兩部分，所述打磨筒的表面對(duì)應(yīng)通槽位置套接有推動(dòng)環(huán)，所述弧形拉板的頂部滑動(dòng)在推動(dòng)環(huán)的內(nèi)壁上，所述弧形拉板的中間位置固定連接有拉動(dòng)繩，所述拉動(dòng)繩的另一端與推動(dòng)環(huán)的內(nèi)壁固定連接，所述打磨筒上端對(duì)應(yīng)頂動(dòng)塊位置滑動(dòng)連接有推動(dòng)桿，所述推動(dòng)桿左端為斜面并且其右端與推動(dòng)環(huán)接觸，所述打磨筒的內(nèi)壁右側(cè)設(shè)有限定機(jī)構(gòu)，所述限定機(jī)構(gòu)用來(lái)限定打磨后的砷化鎵晶柱符合晶柱的最大圓；

所述球鉸鏈機(jī)構(gòu)包括連接球，所述連接球表面開(kāi)設(shè)有十字環(huán)形槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸右端與所述打磨輥?zhàn)蠖司瑒?dòng)在十字環(huán)形槽內(nèi)；