[發明專利]一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置

在審

• 申請號: 202111657798.3
• 申請日: 2021-12-30
• 公開（公告）號: CN114310509A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 袁永
• 申請（專利權）人: 蘇州諾富微電子有限公司
• 主分類號: B24B5/04
• 分類號: B24B5/04;B24B5/36;B24B5/50;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/06
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1.一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，包括工作臺(1)與驅動電機(2)，其特征在于：所述工作臺(1)表面開設有放置砷化鎵晶柱的凹槽(3)，所述凹槽(3)的底部為弧形，所述凹槽(3)的底部滑動連接有驅動推桿(4)，所述驅動推桿(4)左端有部分凸起并且其左端位于砷化鎵晶柱的左側，所述凹槽(3)的上方設有壓蓋(5)，所述壓蓋(5)可以將砷化鎵的上端蓋住，所述壓蓋(5)的上端右側固定連接有頂動塊(6)，所述頂動塊(6)的右側為斜面，所述工作臺(1)表面對應壓蓋(5)的兩側位置均固定連接有限位板(7)，所述工作臺(1)的右側底部固定連接有輔助臺(8)，所述輔助臺(8)上端上下滑動連接有支撐架(9)，所述支撐架(9)的上端固定連接有打磨筒(10)，所述打磨筒(10)的左端固定連接有內齒環(11)，所述內齒環(11)右側轉動連接有外齒環(12)，所述驅動電機(2)固定連接在內齒環(11)的左側，所述驅動電機(2)轉動軸貫穿內齒環(11)后固定連接有驅動齒輪(13)，所述驅動齒輪(13)與外齒環(12)嚙合，所述外齒環(12)表面轉動連接有三個等距排列的轉動齒輪(14)，三個所述轉動齒輪(14)均與內齒環(11)嚙合并且三個所述轉動齒輪(14)轉動軸貫穿外齒環(12)，三個所述轉動齒輪(14)轉動軸右端均設有球鉸鏈機構，三個所述轉動齒輪(14)轉動軸均通過球鉸鏈機構連接有打磨輥(15)，所述打磨輥(15)斜向布置并且其底部為圓弧形，所述打磨輥(15)的尾端固定連接有軸承(16)，所述軸承(16)表面固定連接有可伸縮的弧形拉板(17)，所述弧形拉板(17)的頂部貫穿打磨筒(10)，所述打磨筒(10)對應弧形拉板(17)位置開設有通槽(18)，所述通槽(18)將打磨筒(10)分為兩部分，所述打磨筒(10)的表面對應通槽(18)位置套接有推動環(19)，所述弧形拉板(17)的頂部滑動在推動環(19)的內壁上，所述弧形拉板(17)的中間位置固定連接有拉動繩(20)，所述拉動繩(20)的另一端與推動環(19)的內壁固定連接，所述打磨筒(10)上端對應頂動塊(6)位置滑動連接有推動桿(21)，所述推動桿(21)左端為斜面并且其右端與推動環(19)接觸，所述打磨筒(10)的內壁右側設有限定機構，所述限定機構用來限定打磨后的砷化鎵晶柱符合晶柱的最大圓。

2.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，其特征在于：所述球鉸鏈機構包括連接球(22)，所述連接球(22)表面開設有十字環形槽(23)，所述轉動齒輪(14)轉動軸右端與所述打磨輥(15)左端均滑動在十字環形槽(23)內。

3.根據權利要求2所述的一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，其特征在于：所述限定機構包括阻擋環(24)，所述阻擋環(24)的中間位置有通口(25)，所述通口(25)左側鉸接有三個等角度排列的限定板(26)，所述限定板(26)的左端為弧形并且所述限定板(26)的底部中間位置固定連接有擦拭棉(27)，所述限定板(26)的中間位置鉸接有調節桿(28)，所述調節桿(28)貫穿所述打磨筒(10)后端部向左側彎折并延伸所述推動環(19)位置，所述調節桿(28)上端左側為斜面。

4.根據權利要求3所述的一種砷化鎵晶圓水平法切割裝置，其特征在于：所述工作臺(1)對應所述凹槽(3)底部前后兩側位置均開設有弧形引導槽(29)，兩個所述弧形引導槽(29)內均滑動連接有可伸縮的弧形引導軌(30)，所述弧形引導軌(30)端部通過弧形彈簧彈性連接，兩個所述弧形引導軌(30)的頂部均滑動在壓蓋(5)的左端，所述壓蓋(5)左端對應兩個弧形引導軌(30)的頂端位置均開設有讓位槽(31)，所述讓位槽(31)貫穿壓蓋(5)，所述工作臺(1)的右端結構與左端相同，四個所述弧形引導軌(30)內均滑動連接有滑動塊(32)，左右兩端所述滑動塊(32)之間共同設有切割絲(33)，所述切割絲(33)貫穿滑動塊(32)后與外部非金屬線切割裝置相連接。